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核心参数
仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 进口
定位检测噪声： <0.03nm(标准值0.02nm）
样品尺寸： 直径≤100mm
样品台移动范围： 20mm*20mm
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NX10创新的功能
准确成像，无交叉耦合现象
·业界先进的 XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动
· 低的平面偏移度 ，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米
• 垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于 0.015%
• 优化的水平扫描器 ringing 现象，科学的正向sine-scan算法
准确扫描，真正的非接触模式
· 业界先进的垂直扫描器 ，带宽超过9 kHz , 探针垂直伺服响应速度超过 62mm/sec
·在非接触模式下飞快的扫描速度
· 极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描
• 极低的样品损伤
准确测量，真正的样品形貌
· 采用业界先进的低噪声迟滞检测器测量样品形貌
• 业界先进的极小正反测量偏离量，小于0.15%
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· 功能强大的先进隔音罩，舱体内部主动控温
用户工作效率
· 开放式的设计，方便更换探针和样品
· 探针预定位装夹设计 ，简单便捷的测量激光调节过程 ，具有专利的自上至下的直观观察系统
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• 24位数字电控箱 ，三组内置锁存放大器 ，具备Q- control和弹性常数校准功能
型号 | Park NX10 | |
扫描仪 | XY扫描仪 | 50um*50um(可选10um*10um或100um*100um) |
Z扫描仪 | 12um(可选30um) | |
形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm） | |
光学 | 物镜 | 10X（20X可选） |
电子 | ADC | 18个频道 4个高速ADC频道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置传感器 |
DAC | 12个频道 2个高速DAC频道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器 | |
样品台 | XY平台行程 | 20mm X 20mm |
Z平台行程 | 22mm | |
聚焦平台行程 | 15mm | |
样品尺寸 | 高达50mm X 50mm，厚20mm | |
物理信息 | 外形尺寸 | 700mm（长）X800mm（宽）X1300mm（高） |
企业名称
上海明古嘉电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
26000000201907040625
成立日期
2019-07-04
注册资本
500
经营范围
从事电子科技、电气科技、机电科技、软件科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，仪器仪表、通讯设备、智能设备批发、零售，从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。】
上海明古嘉电子科技有限公司
公司地址
闵行区沪闵路银霄大厦A座108
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