测芯科技CHIPTEST 晶圆探针台T-200-P （升级型）

一款适用于8英寸及以下晶圆测试的标准探针台，台面加宽设计，便于摆放更多探针座，实现复杂灵活的测试应用。
常用于对器件的 IV、CV、脉冲/动态 IV 等参数进行测试；接口兼容主流测试仪器。
升级版的T-200系列探针台，台面可快速升降，或微调升降。同时具备快速装片功能。其载物台可选气动式和丝杆传动式相结合的位移模式，具有快速移动的优点，又可以实现准确的位移调节。特别适合晶圆测试应用，或是多个器件，样片的批次测试，提高整体测试效率。
整个探针台系统采用模块式设计，占用空间小，操作灵活，简单易用，方便维护和升级。是常规手动探针台的升级替代方案！

金相显微镜系统

搭载金相显微镜系统，放大倍率可达2000X，可自由切换不同倍率的物镜，常规物镜倍率有5X/10X/20X/50X和100X可选。

台面快速升降单元

可快速升降探针台面，便于分离探针尖和被测件。方便快速更换被测件。升降行程可达10mm，配备精密微调旋钮，微调行程50mm，精度达到亚微米级。操作杆带锁定功能。操作灵活便捷。

优良接地处理

科学合理的接地处理，让测试结果更准确。

独立气路控制

可根据测试器件大小，独立控制吸附气路。设计上为了兼顾大、小器件的不同测试要求,真空吸附气路分成了吸附孔式和吸附环式，吸附环大小包括2寸、4寸、6寸等，可以实现向下兼容。在实际使用时可灵活控制。

台面升降微调

可按照测试需要对台面进行升降调节，行程可达50mm，可配合左侧升降杆一起操作，方便取放待测件。旋柄采用合金材料制成，做工精美。

台面高度实时显示

较其他普通探针台做的一项升级，在气动控制单元上加装的千分尺，可以将载物台位移精度提高到亚微米级。