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主要特点 / MAIN FEATURE
● 两种低温获得方式可供选择:湿式杜瓦、闭循环无液氦
● 独特性设计的扫描头,大幅提升光激发与光收集效率,有效避免激光聚焦光斑的微抖动问题
● qPlus传感器具有极低的背底振幅噪音(~2 pm)和优异的品质因数(最高100000)
● 可SPM腔内原位沉积
● 制备腔配液氦型多轴样品台，可用于低温沉积
测试数据 / TEST DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| 工作温度 | 闭循环无液氦 | <4K (不打开光口) |
| 湿式杜瓦 | <5K (不打开光口) | |
| X/Y/Z粗移动范围 | 4×4×8 mm | |
| X/Y/Z扫描范围 | ≥4×4×1 μm@±220 V RT | |
| ≥1.5×1.5×0.4 μm@±220 V LT | ||
| 分辨率 | XY方向-0.1 nm, Z方向-0.1 nm | |
| 温度漂移 | Z方向温度漂移≤100 pm/h@LT | |
| XY方向温度漂移≤200 pm/h@LT | ||
| STM性能 | Z方向振动<2 pm | |
| 成像最小隧穿电流≤2 pA (外置前置放大器) | ||
| HOPG/Au(111)原子级图像 | ||
| AFM性能 | Si(111)/NaCl(100)图像 | |
| 振幅<10 pm | ||
| 灵敏度优于350fN/Hzl/2 | ||
| 光学 | 非球面透镜(1个/2个) | |
| 数值孔径0.38 | ||
| 移动行程3X3X3 mm | ||
系统尺寸 / DIMENSIONS
● SPM系统: 2.3X2.1㎡
● SPM机柜: 1.1X0.65㎡ (单个机柜)
● 氦闭循环液化系统:
液化装置: 0.9X0.65㎡
压缩机: 0.5X0.5㎡
● 分体式水冷机:
室内机:约1X1㎡
室外机:约1.5X1㎡
中科艾科米（北京）科技有限公司
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