Aerotech PlanarDL系列两轴机械轴承直线电机平台

艾罗德克Aerotech PlanarDL系列两轴机械轴承直线电机平台

产品经理：赵贵军

性能

1.集成平台，小体积，X-Y两轴直线电机平台

2.优异的几何性能(±0.4μm平直度;平面度±1μm)

3.高刚性，精密交叉滚子轴承

4.可选范围广，9个行程系列可选

Aerotech的planardl系列级在一个紧凑、低姿态的封装中提供了出色的几何和动态性能。多种行程和性能选项使这一阶段的理想应用范围从表面轮廓测量到LED晶片划片。

用途：

PlanarDL XY设计允许工业的平面几何性能在应用中，直线度和平直度的运动是至关重要的。高精度的抗蠕变交叉滚子轴承，精密加工的表面和Aerotech直线电机驱动通过轴的刚度中心，导致一个特殊的几何公差的定位阶段。平面的结构元素是优化的高动态和高刚度的要求最严格的动态应用。能够达到1m /s的速度和1.5 g的加速度，PlanarDL能够实现高吞吐量、高精度的处理，从而获得优异的工艺成品率和较低的总拥有成本。与使用循环轴承的竞争性产品不同，本设计中使用的抗蠕变交叉滚子轴承允许平稳的运动，使其成为挑战性扫描应用的理想阶段解决方案。

非接触式直接驱动技术只有非接触式，直接驱动技术提供高速、准确的定位，免维护操作，使用寿命长。该计划的核心是Aerotech公司专有的直接驱动技术。这种驱动技术允许无与伦比的性能相比，其他竞争的螺旋和直线电机设计。PlanarDL-200XY和-300XY级每轴都有一个或两个电机，可以根据特定的应用和工艺对每个轴进行优化。无论选择多少个电机，产生的驱动力通过摩擦中心和刚度产生，从而获得优异的几何性能和精度。集成的电缆管理系统集成到舞台上，优化使用寿命和性能。额外的标准选项可用于额外的伺服轴或真空卡盘或其他工艺气动的空气/真空管道。极限定位性能PlanarDL有三种定位性能选项。凭借数十年的系统级设计经验，不仅包括定位机制，还包括软件和电子技术，Aerotech已经开发出先进的技术来推动精度的极限。高性能的-PLUS和-ULTRA选项可以使精度和直线度值下降到400 nm，正交性下降到1角秒。

型号：

PlanarDL-100XYPlanarDL-200XYPlanarDL-300XY