超显微压痕硬度计

◇ 测量所有材料的硬度

・电镀、硬膜等薄膜材料

・树脂材料、薄膜材料

・DLC等超薄薄膜

・功能性树脂薄膜和表面改性薄膜

・微粒子、粉体材料

◇ELIONIX -5的特点

・第五代“ELIONIX "

・通过抑制测量环境中的干扰实现高数据再现性

・因为它是日本制造的，所以它有一个友好的图形用户界面。

・支持从 0.5 μN 到 2,000 mN 的广泛测试负载

◇纳米压痕试验

・可以获得薄膜、表面和微小区域的硬度和弹性模量等机械性能。

・不需要压痕观察，因为特性是通过分析负载-位移曲线获得的。

・符合ISO 14577-1/JIS Z 2255

◇ 数据重现性和可维护性

1、温控机构

・抑制样品和试验机的热膨胀

・挡风玻璃内的温度控制在±0.1℃

・测量部件采用低热膨胀材料（nobinite）。

・阻断外部气流的影响

2、高精度定位平台

・自主开发的电子束光刻设备采用高精度平台技术

・能够以0.1μm为单位进行定位

・以 2,000 倍的观察倍率测量任何位置（使用 20 倍标准物镜和数码变焦时）

3、防振机构

・耐振动的楔形高精度平台

・标配主动防震台

4、软件

・压头校正、温漂校正、日常检查提醒等辅助功能

・通过多年经验培养的可操作性

5、数据重现性

・通过抑制振动和温度变化等干扰影响的机制提高了数据再现性。

・即使在连续测量中也能获得稳定的数据

6、可维护性

・高负荷单元和低负荷单元的更换简单

・通过更换装置校准设备减少了设备停机时间。

◇负载单元

▶ 高负载单元

・可进行5μN～2N的试验。

・适用于从金属材料到高分子材料的各种材料的硬度试验。

▶ 低负载单元

· 兼容 0.5 μN 至 10 mN。

· 对于软质材料（弹性模量：几GPa以下）和10nm以下压痕深度的测量具有出色的再现性和稳定性，可以对100nm以下的超薄膜进行纳米压痕测试。

· 适用于评价UV固化树脂、low-k薄膜、硅橡胶等弹性材料、DLC薄膜等超薄硬质薄膜等功能性树脂的机械特性。