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低温ICP-RIE等离子体刻蚀系统

品牌： 德国SENTECH
产地： 德国
型号： SENTECH SI 500 C
报价： 面议
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产品介绍

SENTECH SI 500 C 低温 ICP-RIE 等离子体蚀刻系统代表了电感耦合等离子体 （ICP） 处理的前沿技术，其最宽温度范围为 -150 °C 至 150 °C。 该工具包括 ICP 等离子体源 PTSA、一个动态温控基板电极、一个受控的真空系统和一个非常易于操作的用户界面。灵活性和模块化是设计特点。该系统可以配置为处理各种精细结Si, SiO2, Si3N4, GaAs和InP

低损伤等离子体蚀刻

由于离子能量低和离子能量分布窄，因此可以使用SENTECH ICP蚀刻工具进行低损伤蚀刻和纳米结构。

使用低温加工的深硅蚀刻

电感耦合 SENTECH SI 500 C 低温 ICP-RIE 等离子体蚀刻系统设计用于硅的低温蚀刻以获得光滑的侧壁、室温下的硅蚀刻以及使用气体切碎工艺的深硅蚀刻，应用在流体学、传感器、光电子学、光子学和量子技术中。

SENTECH专有的等离子体源技术

SENTECH 平面三重螺旋天线 （PTSA） 是一种ICP 等离子体源。PTSA 源产生具有高离子密度和低离子能量的均匀等离子体，适用于传感器和量子点的低损伤蚀刻。它具有高耦合效率和非常好的点火性能，适用于处理各种材料和结构。

动态温度控制

等离子体蚀刻过程中的衬底温度设置和稳定性是高质量蚀刻的严格标准。具有动态温度控制功能的衬底电极与氦气背面冷却和衬底背面温度传感相结合，可在很宽的温度范围内提供出色的工艺条件。通常，低温电极使用液氮冷却，但是，低温电极也可用于使用冷却器进行室温处理。有一个选项可用于在低温蚀刻和室温蚀刻之间自动切换。

灵活性和模块化

从150 mm晶圆到直径200 mm的各种衬底，以及载体上的衬底，都可以通过SENTECH SI 500 Ccrogenic ICP-RIE等离子蚀刻系统中内置的灵活负载锁来处理。单晶圆真空负载锁定保证了稳定的工艺条件，并允许直接切换工艺。

SENTECH提供不同级别的自动化，从真空盒装载到最多六端口集群配置的单工艺腔室，不同的蚀刻和沉积模块提供高灵活性和高吞吐量。该系统还可以作为过程模块集成到集群配置中。

SENTECH SI 500 C系统由先进的硬件和SIA操作软件控制，具有客户端-服务器架构。一个经过充分验证的可靠可编程逻辑控制器（PLC）用于所有组件的实时控制。


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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德国SENTECH等离子体刻蚀SENTECH SI 500 C的工作原理介绍

等离子体刻蚀SENTECH SI 500 C的使用方法?

德国SENTECHSENTECH SI 500 C多少钱一台?

等离子体刻蚀SENTECH SI 500 C可以检测什么？

等离子体刻蚀SENTECH SI 500 C使用的注意事项？

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工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国SENTECH低温ICP-RIE等离子体刻蚀系统SENTECH SI 500 C，德国SENTECHSENTECH SI 500 C产地为德国，属于等离子体刻蚀设备，除了低温ICP-RIE等离子体刻蚀系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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