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电子束光刻机
UV Litho-ACA 无掩膜光刻机
台式 μMLA 系统是最先进的无模板技术,建立在著名的 μPG 平台之上,该平台是全球销量最高的台式无模板系统。它是一款完美的入门级研发(R&D)工具,几乎适用于任何需要微结构的应用。典型的例子有微流控(细胞分选装置、芯片实验室)、小规模掩模写入、微光学和微透镜阵列、传感器、MEMS、接触式二维材料和扇出电极等。
μMLA是一种灵活且可定制的工具,并提供两种曝光模式。标准μMLA使用光栅扫描曝光模式进行曝光,该模式速度快,可提供出色的图像质量和保真度,而写入时间与图案密度的结构大小无关。可选的矢量扫描模式旨在以更快、更准确的方式对连续平滑的曲线(如波导)进行图案化。三种光学设置提供了可变分辨率和吞吐量的选择。每种配置都允许在不同的分辨率和速度配置之间轻松切换,以优化给定应用的曝光。拉伸模式可以对现有结构进行直接的临时修改,并可以与纳米线或 2D 材料进行电接触。灰度曝光模式允许创建复杂的 2.5 结构,例如微光学设备。μMLA占地面积小,可放在普通桌子上。
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企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。
公司地址
深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801
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μMLA无掩模光刻机
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公司名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人: 王雨 邮编: 518132
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