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深圳市矢量科学仪器有限公司

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电感耦合等离子体刻蚀ICP

品牌： 牛津仪器
产地： 英国
型号： PlasmaPro 100 Cobra ICP
报价： 面议
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产品介绍

PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE系统利用高密度电感耦合等离子体实现快速刻蚀速率。该工艺模块可提供出色的均匀性、高吞吐量、高精度和低损伤工艺，适用于最大尺寸为200毫米的晶圆，支持包括GaAs和InP激光光电子、SiC和GaN电力电子/射频以及MEMS和传感器在内的多个市场领域。

  • 高刻蚀速率和高选择性

  • 低损伤刻蚀和高可重复性加工

  • 单晶圆装载锁定或可与多达5个工艺模块集群

  • He背面冷却，以实现最佳温度控制

  • 宽温度范围电极，-150°C至400°C

  • 与所有最大尺寸为200毫米的晶圆兼容

  • 晶圆尺寸之间的快速转换

  • 原位腔室清洁和终点控制功能


  • 晶圆尺寸：最大可达200mm

  • ICP源尺寸可选：65mm和300mm

  • 温度范围：从-150°C到400°C

  • 集群：多达5个模块，包括 ALD、PECVD、离子束刻蚀和离子束沉积等技术


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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牛津仪器湿法刻蚀设备PlasmaPro 100 Cobra ICP的工作原理介绍

湿法刻蚀设备PlasmaPro 100 Cobra ICP的使用方法?

牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra ICP多少钱一台?

湿法刻蚀设备PlasmaPro 100 Cobra ICP可以检测什么？

湿法刻蚀设备PlasmaPro 100 Cobra ICP使用的注意事项？

牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra ICP的说明书有吗？

牛津仪器湿法刻蚀设备PlasmaPro 100 Cobra ICP的操作规程有吗？

牛津仪器湿法刻蚀设备PlasmaPro 100 Cobra ICP报价含票含运吗？

牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra ICP有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供牛津仪器电感耦合等离子体刻蚀ICPPlasmaPro 100 Cobra ICP，牛津仪器PlasmaPro 100 Cobra ICP产地为英国，属于湿法腐蚀/刻蚀设备，除了电感耦合等离子体刻蚀ICP的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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