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MLA 300 无掩模光刻机

产地: 德国
型号: MLA 300
报价: 面议
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产品介绍

MLA 300 可实现最高的光学质量和精度。标准曝光模块的最小特征尺寸为 1.5 μm。实现更高吞吐量和更高分辨率的写入模式正在我们的路线图上。MLA 300 具有自动化功能,具有可定制的装载选项、专为生产环境设计的软件以及获得基材跟踪技术。

MLA 300 克服了口罩采购、验证和管理的要求,从而降低了生产成本和工作量。长寿命曝光激光器(24/7 全天候生产估计为 10 年)和较少的耗材可提高运营成本。模块化设计可实现快速维护、更换或维修。实时自动对焦可补偿基材翘曲或波纹,确保无瑕的图案。无掩模光刻技术允许对每个芯片进行图案校正和序列化,以全面跟踪产品特性,例如传感器校准。

写作表现
最小行数和间距 [μm]2
最小特征尺寸 [μm]1.5
CD均匀度 [3σ, nm]200
边缘粗糙度 [3σ, nm]80
拼接 [3σ, nm]120
第 2 层对准 [3σ, nm]500
背面对准 [3σ, nm]1000
每个模块的曝光时间(100 x 100 mm² 80 mJ/cm² 和 405 nm 激光波长)2.75 分钟
一个模块的最大写入速度 405 nm 激光波长4615 平方毫米/分钟
售后服务
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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德国海德堡激光直写光刻机MLA 300的工作原理介绍

激光直写光刻机MLA 300的使用方法?

德国海德堡MLA 300多少钱一台?

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德国海德堡MLA 300的说明书有吗?

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德国海德堡激光直写光刻机MLA 300报价含票含运吗?

德国海德堡MLA 300有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。

联系方式
深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国海德堡MLA 300 无掩模光刻机,德国海德堡MLA 300产地为德国,属于无掩模光刻机/直写光刻机,除了MLA 300 无掩模光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,客服电话,售前、售后均可联系。

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公司名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人: 王雨 邮编: 518132

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