匀胶机

Laurell的EDC-650-15B型匀胶机结构紧凑，具有先进的功能。这款650系列EDC系统将可容纳高达300mm的晶圆和9英寸×9英寸（229mm×229mm）基板。虽然这个系统有12,000RPM的能力带真空压紧装置，建议仅用于3,000RPM和非真空吸盘。

过程控制器：650系列过程控制器采用坚固的微处理器，并使用其随附的PC软件（编写在面向对象的编程语言中），它在过程中都实现了高的灵活性定义和使用。该控制器允许操作员在流程执行过程中进行实时交互，包括暂停时间、停止和从该点继续。该系统可以并且将通过可下载的固件修订版在现场轻松快速地持续更新。

650系列控制器也可以与带有Spin3000（Laurell的过程管理软件）的PC结合使用，但这不是编程或运行设备所必需的。使用PC增加了在运行过程、远程操作、编程或通过LAN或Internet进行通信时记录过程的能力。该软件免费提供，使操作员能够创建虚拟过程模拟，甚至超出硬件安装的旋转处理器的能力，实际上让他们在进入过程之前可以尝试一下。所有650个系统都可以通过简单的插件模块进行升级或重新使用，而无需返回工厂，无论是实际还是虚拟，并且可以包含几乎无限数量的流程和步骤。

简要说明：该系统的外壳通常由LaurellTechnologies的固体共聚物混合物制成。与天然聚丙烯不同，这种材料能够抵抗溶剂和强酸和强碱。可根据要求提供样品进行测试和验证。提供坚固的PTFEHostaflon®TFM-1600/Teflon®AF外壳（适用于高温化学和亚微米颗粒研究）。Laurell的内部碗形腔室带有底部排水沟和透明圆顶盖，可有效控制液体和气体从分配点到排放点的流动。

无需“防溅环"，也无需意外滴落到基材上。我们的超大可调节排气和排水装置允许并持续监测工艺室的大气平衡，为用户提供最大的控制和可重复性。650控制器不仅可以智能监控过程中的排气压力（标准），还可以选择监控许多其他参数，例如加热供应回路中的温度、冲洗液的排水电阻率、pH值变化等。上部增压室在底座内部关闭，以提供重叠的密封。EDC™的工艺室是电气互锁的，因此在打开和锁定时，旋转和分配被禁用，并在感应到0RPM时锁定直到完成。洗碗和烘干程序可以添加到每个过程中或独立运行。（另一个重要的LaurellEDC标准）

专有的迷宫式密封可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺室提供氮气吹扫，并且在现场测试中已被证明在亚微米级别上是无颗粒的。该系统的盖子具有耐化学腐蚀性，并且在整个系统的一些非润湿区域仅使用ECTFE涂层的316不锈钢螺钉。