核心参数
产地类别: 国产
转速: 10-240rpm
磨盘尺寸: Ф300mm
磨盘个数: 2
尺寸(L*W*D): 550mm×700mm×420mm
SL-1023化学机械磨抛机,适用于 CMP 平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐
蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
·超平不锈钢抛光盘(平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm)。
·超精旋转轴(托盘端跳小于 0.01mm)。 ·设有两个加工工位,可分别进行控制。
·配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。 ·配置自动滴料器,流量速率可视化调整, 自动研磨和抛光。
·配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。
产品名称 | SL-1023化学机械磨抛机 |
产品型号 | SL-1023 |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下,温度 25℃±15℃ , 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:设备配有上水口及下水口,需自行连接自来水及下排水 |
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2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:无 4、工作台:尺寸 800mm×600mm×700mm,承重 200kg 以上 5、通风装置:不需要 | |||
主要参数 | 主机部分 | GPC-100A 精密磨抛控制仪 | 自动滴料器 |
1、电源:220V 2、功率:450W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2 个 5、摆臂调节档位:1-15 档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、不锈钢磨抛盘: φ300mm 8、载样盘 : φ 105mm 9、修盘环 : φ 127.5mm | 1、载样盘直径:Ø103mm 2、载样盘轴向行程:12mm 3、数显表精度:0.001mm 4、载样盘可调加载压力: 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程: 1g-5000g 6、样品装卡方式:真空吸附 7、承载样件尺寸: 直径≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸:外径 146mm,高 266mm | SKZD-2 滚筒滴料器 1、容积:1.5L 2、流量:0-35ml/min 3、尺寸:170×290×350mm; 重量:3kg SKZD-4 自动滴料器 1、加液泵:4 个 2、料液瓶:600ml/瓶 3、计时范围:1-999min 4、流量:0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸:230×370×450mm; 重量:10kg | |
产品规格: ·尺寸:550mm×700mm×420mm ·重量:74Kg |
序号 | 名称 | 数量 | 图片链接 |
1 | 铸铁磨盘 ( Ф300mm 花盘) | 1 个 | |
2 | 不锈钢磨盘 ( Ф300mm 平盘) | 1 个 | |
3 | 载物盘(陶瓷) | 1 个 | |
4 | 修盘环(陶瓷) | 1 个 |
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5 | 抛光垫(磨砂革、合成革、聚氨酯) | 各 1 片 | |
6 | 磁力片(带背胶) | 2 片 | |
7 | 研抛底片 | 2 片 | |
8 | 刚玉研磨微粉 | 0.5kg | |
9 | 石蜡棒 | 4 根 | |
10 | 二氧化硅悬浮抛光液 2040 W0.05 | 1 瓶 |
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客户信息: | 化学机械磨抛机 | ||||||
标准配置单 | |||||||
序号 | 产品编号 | 产品名称 | 规格 | 单位 | 数量 | 备注 | 图片(仅供参考) |
1 | 化学机械磨抛 机 | SL-1023 | 台 | 1 | 主机 | ||
2 | 铸铁磨盘 | Ф300mm 花盘 | 件 | 1 | |||
3 | 不锈钢磨盘 | Ф300mm 平盘 | 件 | 1 | |||
4 | 41031929 | 载料盘 | Ф 105mm | 个 | 1 | 陶瓷 | |
5 | 41031930 | 修盘环 | Ф 127.5mm | 个 | 1 | 陶瓷 | |
6 | 51020117 | 磨砂革抛光垫 | Ф300mm | 片 | 1 | 带背胶 | |
7 | 51020127 | 合成革抛光垫 | Ф300mm | 片 | 1 | 带背胶 | |
8 | 51020135 | 聚氨酯抛光垫 | Ф300mm | 片 | 1 | 带背胶 | |
9 | 51020226 | 磁力片(带背 胶) | Φ300mm | 片 | 2 | 其中一个 粘在不锈 钢磨盘上 | |
10 | 51020232 | 研抛底片 | Φ300mm | 片 | 2 | ||
11 | 51020030 | 刚玉研磨粉 | W14 | kg | 0.5 | ||
12 | 51010107 | 石蜡棒 | Φ8*100mm | 根 | 4 | 粘接剂 | |
13 | 41030436 | 螺丝刀 | 5*75 一字 | 个 | 1 |
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14 | 41030049 | 内六角扳手 | 2.5 L 型 | 个 | 1 | ||
15 | 41030070 | 内六角扳手 | 3 L 型 | 个 | 1 | ||
16 | 41030086 | 内六角扳手 | 4 L 型 | 个 | 1 | ||
17 | 41030103 | 内六角扳手 | 5 L 型 | 个 | 1 | ||
18 | 41030119 | 内六角扳手 | 6 L 型 | 个 | 1 | ||
19 | 41030137 | 内六角扳手 | 8 L 型 | 个 | 1 | ||
20 | 41020198 | 增强管 | φ 14 PVC 纤 维增强 | m | 2 | ||
21 | 41020295 | 增强管 | φ25 PVC 纤 维增强 | m | 2 | ||
22 | 41020086 | 喉箍 | φ 18-32 不 锈钢 | 个 | 2 | ||
23 | 41020211 | 喉箍 | φ 13-19 不 锈钢 | 个 | 2 | ||
24 | 42010061 | 国标电源线 | 3*1.5 方 /1.5m | 个 | 1 | ||
25 | 51020576 | 二氧化硅悬浮 抛光液 | 2040 W0.05 | kg | 5 | 1 瓶 | |
26 | 41050004 | 锁扣式夹板箱 | 930*790*590 | 个 | 1 | ||
27 | 合格证 | 份 | 1 | ||||
28 | 说明书 | 份 | 1 |
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企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。
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深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801
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