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深圳市矢量科学仪器有限公司

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化学机械磨抛机

品牌: 矢量科学
产地: 广东
型号: SL-1023
报价: ¥15万
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核心参数

产地类别: 国产

转速: 10-240rpm

磨盘尺寸: Ф300mm

磨盘个数: 2

尺寸(L*W*D): 550mm×700mm×420mm

产品介绍





SL-1023化学机械磨抛机,适用于 CMP 平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐

蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。

·超平不锈钢抛光盘(平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm)。

·超精旋转轴(托盘端跳小于 0.01mm)。 ·设有两个加工工位,可分别进行控制。

·配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。 ·配置自动滴料器,流量速率可视化调整, 自动研磨和抛光。

·配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。

产品名称

SL-1023化学机械磨抛机

产品型号

SL-1023

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下,温度 25℃±15℃ , 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水:设备配有上水口及下水口,需自行连接自来水及下排水



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2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:无

4、工作台:尺寸 800mm×600mm×700mm,承重 200kg 以上

5、通风装置:不需要













主要参数



主机部分

GPC-100A 精密磨抛控制仪

自动滴料器

1、电源:220V

2、功率:450W

3、磨抛盘转速:10-240rpm

4、磨抛工位:2

5、摆臂调节档位:1-15

6、托盘端跳:0.008/250mm

7、不锈钢磨抛盘: φ300mm

8、载样盘 : φ 105mm

9、修盘环 : φ 127.5mm

1、载样盘直径:Ø103mm

2、载样盘轴向行程:12mm

3、数显表精度:0.001mm

4、载样盘可调加载压力: 0.1kg-2.1kg

5、压力确认仪有效量程: 1g-5000g

6、样品装卡方式:真空吸附

7、承载样件尺寸:

直径≤103mm、厚度≤12mm

8、尺寸:外径 146mm,高 266mm

SKZD-2 滚筒滴料器

1、容积:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3、尺寸:170×290×350mm 重量:3kg

SKZD-4 自动滴料器

1、加液泵:4

2、料液瓶:600ml/瓶

3、计时范围:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸:230×370×450mm 重量:10kg



产品规格:

·尺寸:550mm×700mm×420mm ·重量:74Kg


序号

名称

数量

图片链接


1


铸铁磨盘 ( Ф300mm 花盘)


1


2


不锈钢磨盘 ( Ф300mm 平盘)


1


3


载物盘(陶瓷)


1


4


修盘环(陶瓷)


1





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5


抛光垫(磨砂革、合成革、聚氨酯)


1


6


磁力片(带背胶)


2


7


研抛底片


2


8


刚玉研磨微粉


0.5kg


9


石蜡棒


4



10


二氧化硅悬浮抛光液  2040 W0.05


1
































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客户信息:


化学机械磨抛机

标准配置单






序号

产品编号

产品名称

规格

单位

数量

备注

图片(仅供参考)


1


化学机械磨抛


SL-1023


1

主机


2


铸铁磨盘

Ф300mm 花盘


1



3



不锈钢磨盘


Ф300mm 平盘



1



4


41031929


载料盘


Ф 105mm



1


陶瓷


5


41031930


修盘环


Ф 127.5mm



1


陶瓷


6


51020117

磨砂革抛光垫

Ф300mm


1

带背胶


7


51020127

合成革抛光垫

Ф300mm


1

带背胶


8


51020135


聚氨酯抛光垫


Ф300mm



1


带背胶


9


51020226

磁力片(带背 胶)


Φ300mm



2

其中一个 粘在不锈 钢磨盘上


10


51020232


研抛底片


Φ300mm



2



11


51020030


刚玉研磨粉


W14


kg


0.5



12


51010107


石蜡棒


Φ8*100mm



4


粘接剂



13


41030436

螺丝刀

5*75 一字


1





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14


41030049

内六角扳手

2.5 L


1



15

41030070

内六角扳手

3 L


1




16


41030086

内六角扳手

4 L


1



17

41030103

内六角扳手

5 L


1




18


41030119

内六角扳手

6 L


1



19

41030137

内六角扳手

8 L


1




20


41020198

增强管

φ 14 PVC 维增强

m


2


21

41020295

增强管

φ25 PVC 维增强

m


2



22


41020086

喉箍

φ 18-32 锈钢


2



23

41020211

喉箍

φ 13-19 锈钢


2



24


42010061

国标电源线

3*1.5 /1.5m


1



25


51020576

二氧化硅悬浮 抛光液


2040 W0.05


kg


5


1


26


41050004

锁扣式夹板箱

930*790*590


1




27



合格证




1




28



说明书




1








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售后服务
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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矢量科学磨抛机SL-1023的工作原理介绍

磨抛机SL-1023的使用方法?

矢量科学SL-1023多少钱一台?

磨抛机SL-1023可以检测什么?

磨抛机SL-1023使用的注意事项?

矢量科学SL-1023的说明书有吗?

矢量科学磨抛机SL-1023的操作规程有吗?

矢量科学磨抛机SL-1023报价含票含运吗?

矢量科学SL-1023有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。

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深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供矢量科学化学机械磨抛机SL-1023,矢量科学SL-1023产地为广东,属于国产抛光机、磨抛机、磨样机,除了化学机械磨抛机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多抛光机、磨抛机、磨样机,客服电话,售前、售后均可联系。

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公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人: 王雨 邮编: 518132

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