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核心参数
产地类别： 进口
其它参数
v 最小线宽≤8nm 光栅周期≤40nm
v 拼接精度：
100μm写场下，拼接精度≤20nm【mean】+3sigma
500μm写场下，拼接精度≤30nm【mean】+3sigma
v 套刻精度：
100μm写场下，拼接精度≤20nm【mean】+3sigma
500μm写场下，拼接精度≤25nm【mean】+3sigma
v 束电流稳定性＜0.2%/h 束位置稳定性＜120nm/8h
v 50KV加速电压下，写场可在0.5μm~500μm的范围内连续可调
v 肖特基热场发射电子束源，最高加速电压≥50kv，束电流范围至少为50pA~40nA，最大束电流≥40nA
v 图像发生器扫描频率≥50MHz，20bit分辨率，最小步距为0.5nm
通用样品架可承载散片，4inch以下的衬底，4inch专用晶圆专用样品架，6inch专用晶圆专用样品架，多样品专用样品架
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企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。
深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址
深圳市光明区凤凰街道塘尾社区同惠路恒泰裕大厦 3A 栋 18 层1801
客服电话
公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区同惠路恒泰裕大厦 3A 栋 18 层1801 联系人： 王雨 邮编： 518132 联系电话： 400-860-5168转5919
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