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核心参数
仪器种类： 国产等离子体表面处理仪
射频频率： 40kHz
功率： 1000W
设备尺寸： 510×450×420 mm
样品腔容积： 5升
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： 2路
控制方式： 触摸屏全自动
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技术部 黄经理
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工程部 陈经理
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设备型号：HM-Plasma5L
腔体材质：不锈钢。
供电电源：AC 220 V。
工作电流：1.2 A(不含真空泵)。
射频电源功率：0-300 W可调。
射频频率：40 kHz。
频率偏移量：小于0.2 kHz。
特性阻抗：50欧姆，自动匹配。
真空度：1-30 Pa。
气体路数：双路气体输入（可自动控制气体流量配比）。
气体流量：10-100 ml/min(可调)。
过程控制：PLC人机界面自动与手动方式，遥控、外接电脑控制方式可选。
清洗时间：1-6000 s可调。
刻蚀速率：1-10 nm/min。
功率大小 10%-100%可调。
内腔尺寸 直径150×270 mm (容积~5 L )。
外形尺寸：510×450×420 mm。
重量：45 kg。
真空泵：2XZ-4。
真空室温度：小于65°C。
冷却方式：强制风冷。
样品托盘：石英+不锈钢双托盘。
全套消音设备确保整机运行无噪声。
自动检测压力值与程序运行阶段，启动与终止表面活化过程。
企业名称
常州鸿明仪器科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
320402000204976
成立日期
2015-01-13
注册资本
经营范围
实验设备、实验器材及配件的研发及销售;化工产品、五金交电、机械设备及配件、文化办公用品的销售;实验技术咨询及服务;化学材料的测试服务;实验仪器安装、调试及维修。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
常州鸿明仪器科技有限公司 技术部
公司地址
江苏省常州市武进区青洋花苑
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公司名称： 常州鸿明仪器科技有限公司 技术部
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