椭偏仪

椭偏仪（椭圆偏振光谱仪）是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改 变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。而且椭圆偏振光谱既能够实现在线监测又能进行原位测试，可根据各类不同的应用需要提供静态和动态测量模式，应用非常广泛。

UNI椭偏仪（椭圆偏振光谱仪）是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改 变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。而且椭圆偏振光谱既能够实现在线监测又能进行原位测试，可根据各类不同的应用需要提供静态和动态测量模式，应用非常广泛。SEL 2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。在继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时，配备了革新的可视系统，多达8个尺寸微光斑选项，最小达35X85um。

产品特点

* 完全自动化设计，自动对焦、校正

* 全新光路、电路设计、测量精度更高、速度更快

* 双光栅光谱仪系统，杂散光抑制水平高

* 8个尺寸微光斑、专利可视技术

* 50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件

* 自动平台样品扫描成像

* 配置灵敏，测量范围可扩展至190-2100nm