产品简介:
该标样用于扫描电镜(包括电子探针等)仪器主要性能的校验和检验,如图像的放大倍率检验与调整、扫描图像畸变的调整、像散调节以及样品台的复位检验等,是扫描电镜仪器验收、仪器年度检验、计量认证、实验室认可等考核中,最必不可少的标准样品。
作用:
1、用于扫描电镜的各种性能的校验和检验,如图像的放大倍率、图像分辨率、能谱仪的基本性能等检验,是计量认证、实验室认可等考核中,最必不可少的。
2、用于扫描电镜的各种测量值,包括成分、形态、长度和结构等分析的直接参比物,是量值传递的工具。
测量范围:
线间隔结构—(0-50)μm
不确定度/准确度等级:U=(1+2*10-3*p)nm,k=2(P-nm)
样板外观:良好
测量方位:对样块中指定量值的栅格间距区域,进行多次重复测量
特点:
1、拥有最现代的加工工艺,研制技术本身具有足够的精度等保证其质量
2、底层镀有纯钛层,表面有120nm厚的Au膜,可称之为拥有特厚金层,不仅可长
期稳定保存,而且具有极其良好的导电性
3、具有格栅状双向结构,与早期使用的初级铜网结构相似,是国内外可以同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜、电子探针的图像的放大倍率进行检查或校
正的标样
4、有德国PTB国际最权威的计量型原子力显微镜的测量研究报告和研制者的研制报告正式发布(见“扫描电镜测长问题的讨论”一书),即采用目前精度最i好、可溯源的检测方法,有可靠的文献依据
5、S1000曾经过我国国家计量研究院的多次检验测试,并多次获得合格证书;
6、S1000早在2005年通过全国微束标委会的有关专家评审通过,具备报批国家标准样品的资格,并且已经过众多用户近十年的使用,证明其质量优良
7、公开出版的“扫描电镜测长问题的讨论”专著实际上是一本S1000的综合性的研制报告;这也是这类标样中的唯i一;
8、价格低廉,易于保存、易于普及到每个扫描电镜和电子探针实验室
9、功能多,用途多
(1)可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查
或校正,是校准从10×~100.000×及以上范围的图像放大倍率的最有效的
图形标准样品:是执行GB/T27788“微束分析一扫描电镜一图像放大倍率
校准导则”一个精i准的校准标样
(2)可直接用于同一量级物体,毫米量级到纳米量级长度的精确比对测量,是执
行GB/T16594和GB/T20307微米和纳米测量的一个不能缺少的精i准的度
量工具;
(3)可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验,是评价扫描电
镜图像质量的一个重要工具
(4)对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用
(5)利用标样上的“点子”图像,可对电子束作漂移检验和样品台复位检验。