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微观特征轮廓尺寸测量:光学3D轮廓仪、共焦显微镜与台阶仪的应用

2024-07-04 11:30

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资料摘要:

随着科技进步,显微测量仪器以满足日益增长的微观尺寸测量需求而不断发展进步。多种高精度测量仪器被用于微观尺寸的测量,其中包括光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)、共聚焦显微镜和台阶仪。有效评估材料表面的微观结构和形貌,从而指导生产过程、优化产品性能。
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