chotest中图光学3D表面轮廓仪

显微测量|光学3D表面轮廓仪微纳米三维形貌一键测量

光学3D表面轮廓仪利用白光干涉原理，以0.1nm分辨率精准捕捉物体表面细节，实现三维显微成像测量。广泛应用于材料学领域，可测量各种材料表面形貌，提高超光滑表面形貌的测试精度。

三维轮廓测量仪：革命性技术在工业智能制造中的多重应用

三维轮廓测量仪利用光学、激光或光电等技术手段，通过测量物体表面轮廓的三维坐标信息，能实现对物体形状、尺寸和表面特征的准确测量。如光学3D表面轮廓仪以白光干涉原理，3D非接触快速测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸；而激光跟踪仪不论是在装配线上，还是在机器人操作中，都能够快速获取物体的位置信息，从而实现对物体的自动化识别和操作，提高生产效率和准确性。

3d光学轮廓仪测微光学器件应用及其重要意义

3d光学轮廓仪通过利用白光的干涉和衍射现象，能够对微小的表面高度差异进行精确测量，并得出精准的尺寸和形态数据。对于超光滑透明微光学器件的测量来说，3d光学轮廓仪不仅具备高精度和高分辨率的特点，还能够快速、无损地获得物体的三维形貌信息。

几何量测量基本原理及精密仪器

从纳米级光学3D表面轮廓仪通过光学原理测量物体的三维形状，到百米级激光跟踪仪高精度（μm级）、大工作空间（百米级）的坐标和空间姿态测量，越来越多高精度测量仪器被应用于几何量测量领域。

微纳米表面轮廓仪器选型及使用技巧

微纳米表面轮廓形貌的测量可以帮助我们了解材料的物理特性、表面形态以及质量状况。如白光干涉仪是一种常见的微纳米表面轮廓仪测量仪器，常用于研究产品的微观形貌和粗糙度；而共聚焦显微镜大倾角超清纳米测量，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。选择适合的测量仪器对于准确获取样品表面形貌和特征至关重要。

光学3D表面轮廓仪超0.1nm纵向分辨能力，让显微形貌分毫毕现

与其它表面形貌测量方法相比，光学3D表面轮廓仪达到纳米级别的相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)，具有快速、非接触的优点。它结合了跨尺度纳米直驱技术、精密光学干涉成像技术、连续相移扫描技术三大独特技术，能够滤除光源不均匀带来的误差，以超越0.1nm的纵向分辨能力，让显微形貌分毫毕现；以优于0.1%的台阶测量重复性，让测量数据万千如一。 在半导体行业，SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪可用于检测芯片表面缺陷和颗粒，确保产品的质量和性能，从而将不良产品阻截在市场之外；IC封装中用于测量减薄之后的厚度、晶圆的粗糙度、激光切割后的槽深槽宽，测量导线框架的粗糙度；在分立器件封装中，测量QA对打线深度，弹坑深度。 此外，不管是从超光滑到粗糙，还是低反射率到高反射率的物体表面，光学3D表面轮廓仪都能够以优于纳米级的分辨率，自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

高端制造业中的通用性超精密3D光学测量仪器

超精密3D光学测量仪器结合镜头防撞保护技术、精密双重隔振技术以及环境噪声评价技术，具有高精度、自动化程度高、实时反馈和范围广等优势，可以实现自动化测量和高效调整，可对精密零部件的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸实现微纳级测量，提高加工的准确性和效率的同时检测加工过程中的质量控制，确保零部件质量达标。在微纳米结构检测中有着重要意义。