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产地类别: 国产
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产品描述
PK1H100-030U系列X向压电扫描台是采用压电陶瓷驱动的一维并联压电纳米定位扫描台,压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。
压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电扫描台具有很好的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性。
压电扫描台内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。具有更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。
产品特性
—X位移:30μm(闭环)
—中孔尺寸:50mmx50mm
—并联直驱结构设计
—超快响应时间、超高动态应用
选配功能
—可定制转接装置、可定制中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选配XY轴运动
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微纳米操纵
结构原理 叠堆形式 典型应用
PK1H100-030U系列技术参数
企业名称
上海纳动纳米位移技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
04000000201808060002
成立日期
2015-12-15
注册资本
500
经营范围
压电纳米定位控制系统
纳动纳米-Θx轴压电偏转镜(单轴型)
纳动纳米-PFR压电显微样本台(大孔径)
纳动纳米-PFH压电物镜聚焦台(垂直型)
纳动纳米-PFC压电物镜聚焦台(重载型)
纳动纳米-PFB压电物镜聚焦台(高重载)
纳动纳米-PFV压电物镜聚焦台PFV-080U
纳动纳米-XYZ轴压电陶瓷扫描台PK3L60-080U
纳动纳米-XZ轴压电陶瓷扫描台PKWL60-080U
纳动纳米-XY轴压电扫描台PK2H70-012U
纳动纳米-Z轴压电陶瓷扫描台PKVL60-080U~240U
纳动纳米-X轴压电陶瓷扫描台PK1H100-030U
纳动纳米-XY高动态大行程+Z向压电纳米位移台
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纳动纳米-XZ轴压电陶瓷纳米台PSWH30-005U
纳动纳米-XY轴压电陶瓷纳米台PS2H30-005U
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