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核心参数
仪器种类： 国产等离子清洗器
射频频率： 40
功率： 2.4
设备尺寸： 200X215
样品腔容积： 2.6
样品腔材质： 不锈钢
工作气体： 2
控制方式： 半自动
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CIF扫描电镜等离子清洗机
CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
产品特点
u 双等离子清洗源
u 一机多用
u 高效低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40 |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器 |
气体控制 | 标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
企业名称
赛莱博（北京）科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
9111010669456786M
成立日期
2010-01-29
注册资本
501
经营范围
技术快发，技术转让，技术咨询，销售仪器仪表、化工产品、文具用品、电子产品
赛莱博（北京）科技有限公司
公司地址
北京市丰台区科兴路7号3层301
客服电话
公司名称： 赛莱博（北京）科技有限公司
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