MSA-600显微式激光测振仪

       MSA-600集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体：

       - 基于激光多普勒原理的面外振动测量模块，实时显示测量数据，位移分辨率达亚pm级；

       - 基于频闪法的面内振动测量模块，能直观生动地显示结构面内振动特性；

       - 基于白光干涉原理的形貌测量模块，可在几秒钟内提供数以百万计的结构三维表面数据。

• 集多功能于一体的光学测量工作站

• 真正的实时测量，无需数据后处理

• 无与伦比的亚pm位移分辨率

• 测量速度快，振型可视化显示

• 操作界面直观友好

• 全自动化测量，易于集成至商用探针台上

应用领域：

• 面外振动（单点振动或两点间的相对振动）

   如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、

MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等

• 面内振动

   如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动

• 表面形貌

   如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌

带宽：7种频率上限可供选择，从50 kHz到24 MHz，覆盖声学和超声范围。

      宝利泰测量技术（北京）有限公司

Polytec China Ltd.

北京市东城区朝阳门北大街5号五矿广场B座4层402室(100010)

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