迷你型探针台 特点 |
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紧凑的结构 |
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轻巧的重量 |
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实惠的价格 |
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可以做光电方面测试应用 |
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LED/LD/PD的光强/波长测试 |
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可以进行射频测试，加装东/西方向针座 |
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适合大学实验室通用 |
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适合4"以下晶圆测试 |
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Chuck通过x-y方向丝杠驱动 |
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无后座力移动 |
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规格 |
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真空吸附型CHUCK | 4英寸不锈钢材质 |
Chuck 行程 | X-Y方向行程4" x4" |
Chuck 移动精度 | 10微米 |
Chuck 可旋转角度 | 0~360 ° |
平台 | 可放置6 个针座 |
需求 |
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电力 | 220 VAC, 60Hz |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
尺寸 |
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400mm长 x 400mm宽 x 400mm高(带显微镜) |
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重 30 Kg (带显微镜) |
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可选附件 |
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Chuck快速拉出装置 |
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积分球夹具 |
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显微镜倾仰装置和快速移动装置 |
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光强/波长测试接口部件 |
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射频测试探头和线缆 |
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有源探头 |
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低电流/电容测试 |
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高压测试 |
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视频CCD系统 |
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封装器件夹具 |
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PCB板夹具 |
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加热系统 |
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防震台 |
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屏蔽箱 |
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镀金Chuck |
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显微镜调焦架安装 将调焦架取出，松一点后面的梅花螺丝，放置在显微镜支撑架上，轻轻带紧梅花螺丝，不用拧太 紧
显微镜安装 松开螺丝，放入显微镜，锁紧螺丝，在显微镜上目镜位置放入两个目镜
光源安装 将紧固螺丝拧松，将环形光源安装在显微镜下方，紧固螺丝
探针夹具安装 ● 使用配套螺丝将夹具倾仰安装固定到探针座上，可以根据需要进行上下调节位置 ● 将探针座摆放在 U 型平台上固定好，拧松倾仰夹头 4 个螺丝，把夹具金属杆放入限位孔内，调 整合适位置后拧紧螺丝 ● 用镊子夹住探针中部，将弹簧夹具的弹簧压缩至探针固定孔露出，将探针插入固定孔，调整好 位置后放松弹簧（注意：操作过程中不要触碰到针尖，否则针尖会变弯）
真空泵 VP0125（选配） 日东工器 VP0125 规格? 电压：AC220V ? 流量：7L/min ? 真空度：-60KPa ? 质量：0.7Kg 功能? 提供真空动力源。 ? 配合 CHUCK 上的真空吸附孔来固定样品。 ? 配合真空吸附型探针座，固定探针座。 特点● 无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。 ● 7 升/分钟，可 24 小时无间断运转
屏蔽箱（选配） CINDBEST CB-6参数和特点 ● 尺寸：700mm 宽 x700mm 长 x1100mm 高 ● 屏蔽光线和电磁干扰。 ● 匹配探针台和防震桌设计。 ● 可根据客户定制。 ● 与探针夹具配合可将测试电信号的漏电精度达到 100fa ，可抗 2000V 高压。 ● 屏蔽箱上配备转接头，便于在关闭屏蔽箱时线路在箱内外的良好连接。
探针台的使用 1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。 2、使用卡盘 X 轴/Y 轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。 3、使用卡盘 X 轴/Y 轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。 4、显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品 x-y，将影像调 节清晰,带测点在显微镜视场中心。 5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的 位置旁边,再使用探针座 X-Y-Z 三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓 慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用 Y 轴旋钮将探针退后少 许，再使用 Z 轴旋钮进行下针，***后则使用 X 轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是 否已经接触。 6、确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。
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