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解决方案

半导体生产中的气体流量测量

应用领域

半导体

检测样品

集成电路

检测项目

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电子元件的生产过程需要各种不同的气体,如氮气、氩气、氦气甚至是压缩空气。 这些工业气体大多不是在现场生产的,而是从外部采购的,这意味着它们涉及相当大的成本。除此之外,生产压缩空气还需要消耗大量的能源,这也意味着巨大的成本。为了确定主要消费者并尝试优化生产过程的操作,首先必须测量各种体积流量。 便携式 FLUXUS G601 超声波流量计成为一家半导体生产商的理想测量系统: 由于采用了非侵入式的测量技术,不需要打开现有的管道来设置临时的流量测量点,因此不会中断生产。由于外夹式超声波传感器只需安装在管道外部,不与内部流动的气体接触,所以绝对没有污染高纯度介质的风险。因此,外夹式超声波系统也可以毫无顾虑地在洁净室环境中使用。此外,FLEXIM 的非侵入式测量技术也不存在泄漏的风险。 FLUXUS G601 的用户特别欣赏其简单实用的可管理性、可靠性以及卓越的灵活性和多功能性。连接传感器后,测量主机会自动检测并读取存储的数据(传感器类型、序列号、校准数据)。这使得测量点的设置更加容易,并确保测量值的准确性和可追溯性。便携式 FLUXUS G601 以及永久性 FLUXUS G721 或 G704CA 超声波系统适用于各种气体以及压缩空气的非侵入式流量测量,几乎可用于所有管道材料。

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德国FLEXIM FLUXUS G601手持式超声波气体流量计 G601

FLUXUS G601

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