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德国SPS(POLOS)旋涂机 SPIN150x参数
2024/05/21 15:08
阅读：17
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方案摘要：
产品配置单：
德国SPS(POLOS) SPIN150x 多功能高质量的基底 旋涂机
型号： SPIN150x
产地： 德国
品牌： SPS
¥1.2万 - 1.3万
参考报价
联系电话
方案详情：
POLOS SPIN150x
POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底
旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产
而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学
品
POLOS SPIN150x腔体规格
外壳材质 天然聚丙烯（NPP）
最大底物直径 最大可用 6” (150 mm) 晶圆
最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物
POLOS SPIN150x适用范围:
• 涂层
• 清洗冲洗/烘干
• 显影
• 刻蚀
• PDMI
• 其他程序
POLOS SPIN150x硬件规格：
液体过滤疏水阀
•
POLOS SPIN150x独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式
用于注射器或喷嘴的中心注射支架
• 盖锁和真空传感器确保用户安全
• 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）
• USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件
更新
POLOS SPIN150x驱动装置规格：
• 间接无刷驱动装置
• 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）
• 高加速度、高精度
• 加速/减速 1-30.000 RPM
• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项
POLOS SPIN150x规格硬件 SPIN150x：
液体过滤阱
独特的外壳和排水管设计，可在现场的桌面和甲板模型之间切换
用于注射器或分配喷嘴的中心注射支架
盖子锁和真空传感器，确保用户安全
大型（可拆卸）触摸屏显示器
USB 端口用于将配方存储在 USB 驱动器上并用于软件更新规范
驱动单元：间接无刷驱动单元 - 高达 12.000 RPM（取决于基板/卡盘）
高加速度和高精度
加速/减速 1 - 30.000 RPM
CW、CCW 旋转和水坑选项
免费卡盘和适配器：
1 x A-V36-S45-PP-HD - 真空吸盘
1 x D-V10-S50-PP-HD - 片段适配器
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公司名称： 北京汉达森机械技术有限公司
公司地址： 北京市顺义区南法信镇金关北二街3号院3号楼10层1035 联系人： 魏晓杰 邮编： 101300 联系电话： 400-860-5168转4953
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