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德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN200i天然聚丙烯(NPP)工作原理
SPS(POLOS) SPIN200i自旋涂布机SPIN200i单晶圆自旋涂布机是一种先进的系统，提供精确，可重复的过程控制。空气动力学效率高的腔室提高了均匀性，而天然聚丙烯或聚四氟乙烯结构确保了无金属，无污染的工艺区域，易于清洁
SPS(POLOS) SPIN200i带有一个卡盘，可以支撑4“到8”的晶圆。这款旋转涂布机提供了非凡的价值和能力：最高12000转/分的精确速度范围，可在1转/分编程，用于连续波，特定常规武器旋转（理想的“水坑”开发），以及最大的逐级加速。30,000。它也可以在1转/分编程，以涵盖任何工艺要求。它是通过一个易于进入的彩色触摸屏编程的。自解释图标使它很容易操作，甚至对新用户。
长期的优质选择，我们所有的纺纱机都是在德国设计和制造的。
SPIN200i配置
房屋材料：天然聚丙烯(NPP)
工艺室材料：天然聚丙烯(NPP)或高耐化学聚四氟乙烯（TFM™）
界面：可拆卸，全尺寸触摸屏，手套友好，IP52，耐化学性
外部连接：显示器侧面的1个USB端口
麦克斯。衬底直径：260毫米圆形或6“x 6”方形
麦克斯。工艺室直径：302毫米
维度（桌面版）380(w)x 307(h)x 599(d)毫米
可选选项SPIN150i和；SPIN200i
衬里有宠物。0.5 mm厚，透明，防静电（108-1010·），以防止室内可能积聚静电。
用于单管或三管的中央分配管架，集成N2扩散器
NPP中的波纹排水管和连接器，包括连接到排水口的连接。
免手使用的脚开关；控制启动/停止功能和真空。
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