laurell匀胶机 HL系列
产品描述:
所有HL系列系统都包括一个无线平板电脑,该平板电脑具有du家的Laurell Touch过程控制软件。
通过使用其随附的PC软件Spin 3000,它在过程定义和使用方面都实现了几乎闻所未闻的灵活性。该无线控制器允许操作员在过程执行期间从实验室的任何地方进行实时交互,包括暂停时间,停止和从该点继续。该系统可以并且将在现场轻松快速地不断更新,并提供可下载的固件修订版。
HL系列控制器也可以与带有Spin 3000的PC配合使用,Spin 3000是Laurell独有的过程管理软件。但是,编程或运行设备不需要这样做。
使用PC增加了在运行过程中记录过程的能力,远程操作,编程或通过LAN或Internet进行通信。该软件无需额外费用即可提供,允许操作员创建虚拟过程模拟,甚至超出实际安装的硬件旋转处理器,实际上,让他们在承诺过程之前尝试一下。所有HL系列系统都可以升级或重新利用,而无需返回工厂,只需使用简单的插件模块(无论是实际还是虚拟),并且可以包含几乎无限数量的流程和步骤。
Laurell 独特的内部转鼓设计消除了飞溅,无需安装"飞溅环"。我们的排气排水适配器带有可拆卸的油箱,功能强大,方便快捷。
封闭式转鼓设计与工艺控制器的精度相结合,使大多数涂层材料能够在静止状态下干燥,从而提高均匀性并醉大限度地减少颗粒污染。上充气室在底座内部关闭以提供重叠的密封,盖子内部有一个特殊的排水沟,将流体引导到系统的后部,以防止化学品意外滴落到基板上。
专有的迷宫式密封件可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺腔室提供了氮气吹扫,并已在现场测试期间被证明在亚微米级上无颗粒。该系统的盖子具有耐化学性,并且在整个系统的未接液区域使用ECTFE涂层的316不锈钢螺钉固定。
安全:
与操作员完全电气隔离,万无一失的门联锁,以及ETL认证,UL和CSA认证的组件确保了多年的安全,无故障性能。联锁装置可防止在真空开关未接合和盖子打开时旋转。所有Laurell系统都符合CE和RoHS标准,所有证书都随每个系统一起发送。
过程保障:
所有Laurell过程控制器的"过程保护"功能确保相同的过程不会无意中在同一基板上运行。可以很容易地绕过此功能以再次运行相同的进程,而无需打开系统,或者可以一遍又一遍地运行序列(循环)。
所需设施:
N2过程/密封吹扫:
需要 60–70 PSIG (4–5 bar) 的氮气/CDA来对迷宫式电机密封件加压。这种气体还会吹扫工艺腔室。气体消耗非常低,每小时3立方英尺(0.085米)3/小时)用于我们的标准电机,每小时 20 立方英尺(0.566 米)3/小时),用于我们的高性能电机。提供 10 英尺(300 厘米)的 3/16 英寸 (~4 毫米) 内径 X 1/4 英寸 (~6 毫米) 外径PE管。
真空:
建议在 0 英寸汞柱下真空 25–28 英寸(~635–711 毫米)汞柱,流量为 4.5 SCFM(0.127 立方米/分钟)。 提供 10 英尺(300 厘米)的 3/8 英寸(~9.5 毫米)外径 X 1/4 英寸(约 6 毫米)内径PE管。
功率:
95 到 240VAC, 47/63HZ, 300 瓦
支持的流程:
HL系列通常用于溶剂型、碱型或酸性加工的手套箱:涂层、蚀刻、显影、漂洗-干燥和清洁。虽然所有这些过程都得到支持,但劳雷尔建议仅使用一次性,因为已知的材料冲突。例如,光刻胶和显影剂(交叉污染),以及 SC-1 和 SC-2(HCl + NH4OH),会产生 NH4Cl,吸入危险。 提供许多手动和自动分配选项。
技术参数:
型号 | 类型 | 控制器 | 醉大基板尺寸 | 醉大转速 | 安装选项 |
H6-23 | 旋转涂布机 | HL 系列 | ?150毫米(5英寸×5英寸) | 12,000 转/每分 | 桌面,甲板上 |
H6-8 | 旋转涂布机 | HL 系列 | ?200毫米(7英寸×7英寸) | 12,000 转/每分 | 桌面,甲板上 |
H6-15 | 旋转涂布机 | HL 系列 | ?300毫米(9英寸×9英寸) | 12,000 转/每分 | 桌面,甲板上 |
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