核心参数
产地类别: 进口
旋转速度: 0-12,000 rpm
旋转精度: ± 0.1 rpm
最大加速度: 30000 rpm/s
基片直径: 160mm圆形或 4ʺ x 4ʺ 正方形
腔体直径: 202 mm
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