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虹科ALE/1 UVLED光源
仪器操作
发布时间：2023/02/21
简介：
虹科ALE/1是代替以往的放电灯的高输出、高稳定的LED光源装置，先进的UVLED光引擎最多可内置5种LED，可输出或定制多个波长（365nm，385nm，405nm，435nm），最高可达到30W输出。
可适用于半导体制造（曝光机、先进封装投影光刻机、晶圆边缘曝光、光掩模检查等）、质量保证和检查（NDT），在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。
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