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核心参数
光源种类： 其它光源
虹科ALE紫外光刻光源/曝光光源
ALE/1C UV-LED 曝光系统提供与 1 kW 和 2 kW 汞弧灯的照明功率相匹配的最高输出水平
一、主要特色：
虹科 ALE/1C 是一种用于多用途工业应用的高强度非相干点光源。 它基于 UV-LED 技术，与传统的高压汞放电灯相比具有多种优势，例如降低功耗和发热、延长使用寿命以及减少整体设置维护。
ALE/1C – UV-LED 曝光系统建立在平台概念之上，在其光路中最多可组合三个 UV-LED 发射器。 这些光源通常用于光刻工艺（半导体制造）和工业光固化应用。
内置实现最高效率和性能
闭环控制输出
LED工艺稳定性和TOC优势
无汞设计，未来可持续
高达50W的宽带曝光（UV-LED 350-450nm）
二、实现最佳OEM集成的分段设计配置：
ALE/1C 光源遵循分布式设计方法，通常由一个控制子系统 (CSS) 和一个或多个独立的曝光子系统 (ESS) 组成，非常紧凑，但功能极其强大：我们的 UV-LED 曝光头的这种设计原理实现轻松直接集成到您的设备中。 此曝光子系统发出的光可以与各种可用的光管、光导和其它（定制的）光学器件结合使用。
2.1 控制子系统（CSS）
有两个版本的 CSS 可用：独立单元和 4U 19″ 机架安装单元。 两个 ALE/1C CSS 版本都具有相同的控制接口、冷却系统连接器和系统状态指示灯。 此外，机架安装版本在前面提供了一个曝光测试钥匙开关，无需外部控制信号即可激活光输出。
2.2 曝光子系统（ESS）
ALE/1C 光引擎是光管耦合点光源。 该系统具有紧凑的曝光子系统 (ESS)，可以轻松集成到您现有的设备（改装）或新设计中。 这个 UV-LED 光引擎连接到一个单独的控制子系统 (CSS)，提供控制和驱动固态发射器以及所有必需的光学组件所需的所有硬件和软件。
三、出光选择与光学元件：
我们提供一系列可与 ALE/1C ESS 结合使用的柔性液态光导、光管、匀化器和聚光光学器件。 如果您需要远距离传输高功率辐射、提高均匀性或想要调整输出辐射的准直角，这些组件特别有用。
四、标准光刻配置：365 nm, 405 nm, 435nm
我们的标准 ALE/1C 设置将 UV-LED 发射器与汞光谱的 i、h 和 g 线 (365 / 405 / 435 nm) 附近的峰值波长相结合。 无论您是想在不更换滤光片的情况下切换波长、自定义输出光谱的组成，还是想利用非常强烈的宽带曝光，我们的 ALE/1C 都能为您提供 350 至 450 光谱范围内的最高 UV-LED 辐射输出
我们的 ALE/1C 的总输出功率高达 40 W 或在冷却回路中添加外部冷却器时高达 50 W。
ALE/1C 系统的光谱组成有多种选择。 最多可组合 3 个 LED 模块：
近紫外（365、385、405、435 nm）、
可见光（470、520、620、660、690 nm）
NIR-LED （730、770、810、850、970 nm）
五、系统参数与规格：
虹科光源光刻UV-LED曝光系统的工作原理介绍
光源光刻UV-LED曝光系统的使用方法?
虹科光刻UV-LED曝光系统多少钱一台?
光源光刻UV-LED曝光系统可以检测什么？
光源光刻UV-LED曝光系统使用的注意事项？
虹科光刻UV-LED曝光系统的说明书有吗？
虹科光源光刻UV-LED曝光系统的操作规程有吗？
虹科光源光刻UV-LED曝光系统报价含票含运吗？
虹科光刻UV-LED曝光系统有现货吗？
更多
企业名称
广州虹科电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440106000069671
成立日期
2007-12-07
注册资本
1000
经营范围
工程和技术研究和试验发展;电子、通信与自动控制技术研究、开发;车辆工程的技术研究、开发;软件开发;信息系统集成服务;信息技术咨询服务;数据处理和存储服务;集成电路设计;工程技术咨询服务;网络技术的研究、开发;计算机技术开发、技术服务;机电设备安装服务;软件测试服务;工业自动控制系统装置制造;汽车零部件及配件制造(不含汽车发动机制造);软件零售;商品零售贸易(许可审批类商品除外);商品批发贸易(许可审批类商品除外);贸易代理;技术进出口;货物进出口(专营专控商品除外);通用设备修理;仪器仪表修理;商品信息咨询服务;职业技能培训(不包括需要取得许可审批方可经营的职业技能培训项目);教学设备的研究开
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