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德国Fraunhofer IOF—小型光学粗糙度传感器-Horos
horos—光学粗糙度传感器
使用horos 和WLI 测量粗糙度（样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）
测量600mm Ritchey-Chrétien望远镜镜片的粗糙度
钻石旋转法下AI-表面的散射分布
用于完整的表面表征基于机器人的传感器设置
仪器介绍
散射和粗糙度传感器horos（高灵敏光学粗糙度传感器）是一种用于三维角分辨散射测量（ARS、BRDF）的小型仪器，具有高灵敏度和易于操作的特点。
可以测量表面的rms粗糙度、功率光谱密度函数和各向同性。这些测量结果可以直接关联替代技术，如白光干涉测量（WLI）。
可用于测量±7°角度圆柱体的3D球面散射分布，积分后可得总散射损失指标（TS）。
系统参数
测量波长：例如650nm
灵敏度：ARS<10 -4 sr -1, rms < 0.5 nm
工作距离：＞10mm
测量时间：＜1S
校准定量测量
紧凑尺寸：200x170x65mm3
可选配：与机械臂结合
应用
将传感器直接集成到光学制造过程中进行质量控制，直接控制探测器矩阵（看曝光时间）和激光功率（手动和自动操作）
散射分布的实时视图
用于检测ARS和BRDF的自动化例程
图形化显示测量结果
对于抛光的不透明表面：根据散射数据计算均方根粗糙度（0.5nm至20nm)和粗糙度功率谱密度函数（空间带宽在0.02μm-1至0.2μm之间）
数据导出（ASCII和JPG)
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