2020/04/29 11:51
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方案摘要:
产品配置单:
徕卡视频显微镜DVM6
型号: 徕卡视频显微镜DVM6
产地: 德国
品牌:
¥30万 - 50万
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Leica DM 2700M 高级LED照明正置材料显微镜
型号: Leica DM 2700M
产地: 德国
品牌: 徕卡
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Leica EM TXP 精研一体机
型号: Leica EM TXP
产地: 德国
品牌: 徕卡
¥50万 - 80万
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Leica DVM5000 HD 万能3D 高亮度LED照明数码显微镜
型号: Leica DVM5000 HD
产地: 德国
品牌:
¥25万 - 50万
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徕卡体视显微镜,
型号: Leica M125 C, M165 C, M205 C, M205 A
产地: 德国
品牌:
¥10万 - 25万
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方案详情:
徕卡精研一体机EM TXP在微电子中的应用
徕卡EM TXP,一款集切割、磨抛、铣削与冲钻于一身的工具,可对样品目标精细定位,尤其擅长对肉眼难以观察的微小目标进行定位处理。对微电子的定位处理,用EM TXP快速精准。
以下介绍EM TXP针对一块PCB上一个长不足1mm的电阻的截面处理方法。下图为PCB板的一角在体式显微镜55X下观察的形貌,目标位置是红色椭圆圈内的电阻,接下来采用EM TXP切割、磨抛后用金相显微镜观察。
制备前处理
该PCB板易碎,为防止其受破坏,用标乐的树脂进行包埋并用粗砂纸磨至如下图形状:
EM TXP制样过程
采用的工具如下图所示:
左图用TXP的扁平夹具对样品进行夹持,右图1至5编号依次对应的工具为:金刚石锯片、30um磨片、9um磨片、2um磨片、0.05um抛光布。
1.切割
EM TXP的工作区示意,图右为切割过程示意 。
TXP的整个处理过程,仅需20min。
制样结果观察
采用徕卡金相显微镜DM4M,对结果进行观测(如下图所示)。制备整体效果如下左图,可清楚看出左边的锡中存在一个大气孔;下右图则可清晰观测到合金层。
试验所用的其他设备与耗材
1、包埋(镶嵌)
采用冷镶嵌的方式,冷镶所用的耗材如下:
标乐型号为EpoKwickT M FC的环氧树脂及相应固化剂套装;
标乐型号为ReleaseAgen的脱模剂。
2、显微镜观察
采用徕卡金相显微镜DM4M,在明场的条件下进行拍摄,物镜倍数根据需要可选择5X、10X、20X、50X、100X, 目镜为10X。
徕卡DM4M金相显微镜
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