紫外臭氧清洗机 |
HWUVO-3/HWUVO-6/HWUVO-9型 |
![紫外臭氧清洗机HWUVO-9(600x600).jpg 紫外臭氧清洗机HWUVO-9(600x600).jpg](https://img1.17img.cn/17img/images/202403/uepic/8dd1fca3-f2ce-4ccb-9f56-86488d31631e.jpg)
仪器简介
紫外臭氧清洗机是一款用于无机基材(比如:石英、硅片、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝等)表面有机污染物去除的表面清洗设备。
低压紫外汞灯能够同时发射波长254nm和185nm的紫外光,在这两种短波紫外光的照射下,活化有机物分子与活性氧原子发生氧化反应,生成挥发性气体逸出样品表面,从而彻底清除粘附在样品表面上的有机污染物。
应用领域
1、PCBA(印制电路板)生产中进行光清洗后,可以提高导线焊接时熔焊的接触面积,增加连接强度,进而提高印制电路板的质量;
2、LCD、OLED生产中进行光清洗后,可以提高基体表面润湿性,进而增强基体表面的粘合力;
3、集成电路领域,光清洗可以实现表面的原子清洁度,而且对芯片表面不会造成损伤;
4、可用于提高半导体粘合力、清洗彩色滤光片表面有机污染物、提高光学玻璃镀 膜质量等场景;
5、对清除石蜡、松香、油脂、人体体油、残余光刻胶、环氧树脂、焊剂;以及带有氧化膜的金属表面处理,去除导电聚酰亚胺粘合剂上的有机污染物,光清洗都是十分有效的方法。
功能特点
1.1采用5寸彩色触摸屏控制,可自主设定运行时间、加热温度、气路流量等流程参数;
1.2加热、升降一体式样品台,升降行程50mm, 便于样品与UV灯间距的调整;
1.3样品台恒温控制,智能PID温度调节,设置范围RT~200℃, 控温精度±1℃;
1.4流量、加热、UV灯分别自动单独控制启闭,处理过程中可手动中断;
1.5组合式处理方式,可自由选择:是否启用样品台加热功能、打开供氧气路;
1.6自动储存清洗参数设置,并生成历史记录,避免实验数据遗忘;
1.7安全可靠,设备运行过程中,清洗仓仓盖打开时自动关闭UV灯,并弹窗提示,避免紫外线伤害;
1.8标配流量数字化显示(可接入氧气或臭氧),可调节气路供气流量;
1.9上置式样品台及上翻式开盖设计,取放样品方便,操作简单快捷;
1.10波长254nm和185nm双波UV灯源,灯管寿命约为8000小时,配备UV反光罩使样品照射均匀化;
1.11一键化操作,减少工作强度。
技术参数
仪器型号 | UVO-3 | UVO-6 | UVO-9 |
外观图片 | ![](https://img1.17img.cn/17img/images/202403/uepic/cb16f8b3-8c41-4c13-b639-4188fe354ac8.jpg)
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栅格灯尺寸/mm | 220*270 | 130*130 | 230*230 |
样品台尺寸/mm | 220*270 | 150*150 | 220*270 |
样品台升降行程/mm | 50 | 50 | 50 |
加热温度范围/℃ | 室温-200℃ |
流量范围(ml/min) | 选配 | 0-1000 | 0-1000 |
外形尺寸(L*W*H)/mm | 450*390*270 | 445*300*245 | 500*360*250 |
主机重量/kg | 10 | 11.5 | 15 |
UV光波长 | 185nm、254nm |
UV灯管 | 双波长灯管 | 一体式低压汞蒸气栅格灯 |
灯管寿命 | 约5000小时 | 约8000小时 |
机身材质 | 304不锈钢、塑料 | 304不锈钢和氧化铝 |
安全防护功能 | -- | 仓盖打开时,灯管自动熄灭 |