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S-93200是新一代产品中一款高速振镜，S-9***系列振镜比TSH8***系列产品具有更高速、更大扭矩和低漂移的特性，主要用于有高速要求的应用，可带载15mm和20mm镜片，可与SD1000驱动板一起组成单轴扫描系统。
S-9320电机参数
型号 | S-9320 |
光斑直径, 毫米 | 15 , 20 |
最大扫描角度 | ±12.5° |
小步长阶跃响应时间（1）, （ms） | 0.4 |
误差跟踪时间（ms) | 0.22 |
转动惯量 ,g*cm2 ,±10% | 1.9 |
力矩常量dyne·cm/amp,±10% | 1.9*105 |
最大平均工作电流（A/单轴） | 4 |
峰值电流（A） | 20 |
零点漂移（μRad/℃） | <15 |
比例漂移（ppm/℃） | <50 |
线性度（2） | ≥99.90% |
重复精度（μRad.） | <8 |
长时间漂移（连续工作8小时）（mrad） | <0.5 |
工作环境温度 | 25℃±10℃ |
重量（不含电缆）（g） | 235 |
备注： l 所有角度均为机械角 l 所有参数为上电1分钟后测得 （1）配该型号电机所能带载的最小Y轴镜片，响应至满幅度的1%； （2）指在±20° 光学角范围内的线性度 | |
S-9320M 和S-9320A/D
S-9320M振镜作为2D扫描模块销售时不含箱体，由2轴振镜、2轴驱动板和XY支架组成，OEM客户可将该模块集成到自己的系统中。
S-9320A 表示产品包含箱体外壳，模拟接口
S-9320D表示产品包含箱体外壳，内含数模转换卡，数字接口
S-9320电机模块的优势有高速高精度，大扭矩，低温漂，结构紧凑，防尘抗干扰，易于安装，高效散热系统 ，主要应用于激光标刻，激光焊接，切割，钻孔等
S-9320M和S-9320A/D参数
型号 | S-9320M ， S-9320A/D | ||
光斑直径, 毫米 | 15 | 20 | |
最大扫描角度 | ±12.5° | ||
有效扫描角度 | ±12.5° | ||
可承受最大激光功率（W） | Nd:YAG@1064nm | 200 | 300 |
CO2 | 150 | 200 | |
小步长阶跃响应时间, （ms） | 0.4 | ||
误差跟随时间, （ms） | 0.22 | ||
标刻速度 (2)（m/s） | 3 | 3 | |
定位速度 (2)（m/s） | 10 | 8 | |
定位速度 (3) cps | 好质量 | 600 | 500 |
高质量 | 450 | 360 | |
零点漂移（μRad/℃） | <15 | ||
比例漂移（ppm/℃） | <50 | ||
长时间漂移（连续工作8小时）（mrad） | <0.5 | ||
线性度(4) | ≥99.90% | ||
重复精度（μRad.） | <8 | ||
最大平均工作电流（A/单轴） | 4 | ||
峰值电流（A） | 20 | ||
输入信号接口 | XY2-100 或模拟 ±5V, ±10V | ||
输入电源 | ±24 VDC±10%，Max. RMS 3.5A/轴 | ||
工作环境温度 | 25℃±10℃ | ||
主要应用领域 | 激光标刻，激光焊接，切割，钻孔 | ||
备注： l 所有角度均为机械角 l 所有参数为上电1分钟后测得 （1）配该型号电机所能带载的最小Y轴镜片，响应至满幅度的1%； （2）使用焦距F=160mm透镜测得； （3）透镜F=160mm,标刻由字母和数字组成的1mm高的单线字； （4）指在±20° 光学角范围内的线性度 | |||
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