小型高真空热蒸发式小型镀膜机

小型高真空热蒸发镀膜仪

原理：采用电阻式蒸发原理，利用大电流加热钼舟或钨丝蓝或固定支架上的镀膜材料，使其在高真空下蒸发，沉积在被镀样品上以获得最佳镀膜效果。 

适用范围： 电子显微镜样品制备和清洁光栏，以及科研、教学和企业中的实验活动、工艺试验。 使用了大抽速、高压缩比、自然风冷却复合分子泵，确保喷镀时能够迅速抽掉蒸发源和样品放出的气体；正常情况下喷镀室内极少有油蒸气回流，非常清洁.

样品：

配置参数如下：

2 真空室：     直径230mm，高度：280mm

2 靶材料：     碳、金等。

2 电极(两对)：  一对用于钼舟或钨丝栏，一对蒸碳。

2 最大电流：   100A

2 最大电压：   10V

2 极限真空：   1×10   Pa

2 工作真空：   2×10   Pa

2 加热功率：   1000W

2 机械泵：     4升/每秒，AC 220V/50Hz

2 复合分子泵： 600升/秒，AC 220V/50Hz(风冷)

主要特点：

特点： 

使用了大抽速、高压缩比、自然风冷却复合分子泵，确保喷镀时能够迅速抽掉蒸发源和样品放出的气体；正常情况下喷镀室内极少有油蒸气回流，非常清洁。