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小型离子溅射仪

品牌: Ted Pella
产地: 美国
型号: 108
报价: ¥5万 - 10万
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核心参数

产地类别: 进口

靶材材质:

靶材尺寸: 57*0.1

控制方式: 手动

样品仓尺寸: 120*120

样品台尺寸: 50

溅射气体: 氩气

产品介绍

108真空镀膜仪是一款结构紧凑的手动型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

l  通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

l  操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

l  可用MTM-10高分辨膜厚控制仪(选件)精确测定所镀膜的厚度。

l  数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

l  可使用多种金属靶材:Au Au/Pd,Pt,Pt/PdAu靶为标配),靶材更换快速方便。

l 

 

 

技术参数

l 

l 

 

溅射系统

样品室大小

直径120mm x 120mm

靶材

Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);

大小:直径57mm x 0.1mm

样品台

可以装载12SEM样品座,高度可调范围为50mm

溅射控制

微处理器控制,安全互锁

溅射电流

5~45mA可调

溅射头

低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

计量表

真空: Atm - 0.001mbar,电流:0~50mA

厚度监控
  (
选件)

使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)精确测定所镀膜的厚度

控制方法

具有气体换气和泄气功能,带有“暂停”控制的数字定时器(5300s

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

3.0 m3/小时 ,真空度到 0.1mb所需时间30.

极限真空

5 x 10-3mba

桌上系统

真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

 

 

售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训:
免费仪器保养:
保内维修承诺: 仪器安装验收后1年内,免费保修
报修承诺: 报修后需预约上门时间
工商信息

企业名称

广州竞赢科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

91440101MA59JWR743

成立日期

2017-03-02

注册资本

100

经营范围

广州竞赢科学仪器有限公司(简称竞赢科仪)成立于2017年,是一家专业的分析测试解决方案提供商,业务范围包括分析测试技术方法开发,设备研制、生产和销售,实验室组建,测试服务、科研服务等。公司在司法鉴定领域具有深厚的技术积累,尤其在法医学硅藻检验和微量物证理化检验方面保持技术领先水平。

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广州竞赢科学仪器有限公司为您提供Ted Pella小型离子溅射仪108,Ted Pella108产地为美国,属于进口离子溅射仪,除了小型离子溅射仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多离子溅射仪,竞赢科学客服电话,售前、售后均可联系。

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