仪器简介:
此产品广泛应用于:半导体、纳米材料、钠米科技、薄膜材料、薄膜沉积以及航空航天领域。
PICOSUN公司是一个国际化的设备制造商,在全球有销售和服务机构.我们开发和制造原子层沉积反应器用于微米和纳米技术应用。PICOSUN为客户提供用户友好,可靠及多产的ALD工艺工具,提供从研发到生产的工业放大。PICOSUN基地在芬兰的espoo,美国总部在Detroit。SUNALE型ALD工艺工具被用于欧州、美国及亚洲前沿的科学机构、公司。
PICOSUN拥有30多年在芬兰ALD反应器制造而得到的专业技术。Tuomo Suntola博士,于1974年发明了ALD技术,是PICOSUN董事会的成员。我们的首席技术官SVEN LINDFORS从1975年开始连续的设计ALD系统。综合起来讲,PICOSUN拥有了200多年的ALD经验并贡献了100多项ALD专利。我们悠久的历史和广泛的背景使PICOSUN成为ALD技术优质的合作伙伴。
技术参数:
技术指标
SUNALE™ R系列技术特点
基本特点:
晶片尺寸 2-6”, 50-150 mm (8’’ = 200 mm on request)
工艺温度 Up to 500°C
反应室体积 小型、中型、大型
反应室材料 316 SS, Ti, Ni, Al (quartz)
前驱体 2-6 气体 / 气体 / 固体
基片装载 气体升降
尺寸:
尺寸 27.6 x 41.3 x 36.4’’, 70 x 105 x 92.5 cm (W x H x D)
重量 200 kg
工况:
电源 100-240 V, 50/60 Hz, 1- or 3-phase, 3.7 kW Vac
真空泵 30-80 m3/h
载气 99.999 % N2 / Ar, min. 2 slm
压缩空气 4-5.5 bar 过压
冷却水 反应器不需要
排气 为真空泵及源橱柜配备
样品装载选项:
Picoloader™手动样品装载系统,带一个预真空室和闸阀
主要特点:
特点
多功能的反应器设计
全套的服务
企业名称
广州竞赢科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91440101MA59JWR743
成立日期
2017-03-02
注册资本
100
经营范围
广州竞赢科学仪器有限公司(简称竞赢科仪)成立于2017年,是一家专业的分析测试解决方案提供商,业务范围包括分析测试技术方法开发,设备研制、生产和销售,实验室组建,测试服务、科研服务等。公司在司法鉴定领域具有深厚的技术积累,尤其在法医学硅藻检验和微量物证理化检验方面保持技术领先水平。
广州竞赢科学仪器有限公司
公司地址
广东省广州市天河区燕岭路25号1009
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