小型二次离子质谱仪

二次质谱仪（SIMS）是最前沿的表面分析技术。确立于40多年前，它揭示了极表面

和近表面的原子层的化学组成。这种信息远远超过了为鉴定有机组成部分的分子结

构所需的简单元素分析。

应用：

单分子层水平表面信息　　薄膜纵剖面分析

所有元素检测　　　　　　有机物质鉴定

表面污染鉴定 高灵敏度分析　　　　　　

快速化学组分成像等表面分析领域

■ There are three modes of detection：

Static SIMS (surface analysis)


High energy primary ions are used to dislodge secondary ions from the surface molecular layers. These ions are analysed by mass spectrometry, producing a spectrum to identify both organic and inorganic species.



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Imaging SIMS (spatial analysis)


Scanning the focused primary ion beam over the sample surface builds up an image showing the distribution of any species.This is ideal for analysing the uniformity of coatings or the composition of small features.



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Dynamic SIMS (depth analysis)


By concentrating the primary beam into a small area, the surface layers are progressively etched away. This produces an analysis of the subsurface region, monitoring the thickness and composition of thin films.

SIMS一个主要的特征是对表面（固定SIMS）的固定区域的原位分析。扫描聚焦探测

光束（影像SIMS）生成一个表面成分图仅需几秒钟（而不是几分钟）。延展的分析

通过深度刻蚀表面而显示表层下面变化的组成（动态SIMS）。所有这些能在只需少

量而不需任何样品准备的情形下操作成功，并且具有高灵敏度，同时可使分析时间

降至最短。



Millbrook MiniSIMS是在一个紧凑的半开式可移动仪器中开发的SIMS功能技术。

仅需一个标准的主电源以供操作，放置极为方便。完全的计算机控制使得操作简

便，并且自动获得数据。通过英特网的远距离控制使您使用SIMS更为方便。



MiniSIMS使得室内表面分析仪器，在很大范围的情形下成为一种操作简便经济实

用的方式，低成本的资金和维护费用以及高的样品产出，意味着每个样品的总费用

要比使用传统的SIMS仪器减少90%