Yield Engineering Systems-HMDS VAPOR PRIME 工艺应用说明
自 70 年代初以来,旋转分配的 HMDS 底漆已被用于提高光刻胶对基材的附着力。 目前,HMDS 气相底漆已成为一种成熟且广泛使用的光刻胶涂层技术。 由于减少了化学品消耗,并且经过处理的表面在数周内保持化学稳定性,因此蒸汽底漆更安全、更便宜。 在这篇综述论文中,我们讨论了蒸汽灌注程序的各个方面; 旋涂、轨道分配HMDS 程序与 YES -HMDS Vapor Prime Oven 系统之间的比较结果。 我们还提供了一个统计设计实验 (DOE) 的示例,用于优化特定应用的过程参数,并总结了在德克萨斯大学达拉斯分校进行的统计设计实验 (DOE) 的结果。
介绍