四 极质谱分析仪

■ 概要
四极质谱分析仪广泛应用于薄膜制造，真空炉，加速器等装置中的气体成分分析。这些领域通常要求质谱仪放气少并且检测灵敏度高。M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM就是为满足上述要求而开发的专用PC控制四极质谱分析仪。M-070QA-TDF是一款适合各真空装置内残留气体成分分析的四极质谱分析仪。不仅价格相对便宜，其性能也可以完全满足生产装置的真空品质管理和科研开的要求。

■ 特长
1. 高灵敏度
?使用二次电子倍增管（M-101/201QA-TDM）
2. 低 放气 分析管
?采用低气体放出的离子源
?有脱气功能（※1）
3. 出色的操作 性能
― 可进行精密 分析 ―
?可以手动微调离子化电压、发射极电流（※1）
?大动态范围
4. QUADVISION
― 操作 简便的 日语/ / 英语版 控制软件 ―
?Windows操作界面
?可多台同时控制（８台）
?检测数据可自动转换为CSV格式
5. 多 种 的 I/O O 功能 的标准配置
?自动检测信号
?模拟信号输入
?设定点输出