3D光学轮廓显微镜

S lynx是一款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D光学轮廓仪。它设计简洁、用途多样。S lynx能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于

一体，确保了其完美的性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

单一测量技术的系统缺乏多用性。当面对一些触及该技术的物理测量极限任务时，用户仅有的选择是修改测量参数。这样的妥协将导致牺牲速度，分辨率和精度中的一个或多个。Sensofar 的S系列测量系统中，随着“三合一”这一核心技术的来临，您只需在SensoSCAN中轻轻点击，系统将为您的测量任务呈现的技术。这三种测量技术分别是：共聚焦，干涉和多焦

面叠加。三种技术互相补充，共同成就了Sensofar流的多功能表面形貌测量性能。

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

白光干涉功能强大，广泛应用于测量表面形貌和透明膜。它特别适用于测量光滑和适度粗糙的表面。它的优势在于任何放大倍数都能确保纳米级的纵向分辨率。

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该科技的亮点是快速(mm/s),扫描范围大和支援斜率大（86°）此功能对工件和模具测量特别有用。