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重磅新品!Nanoscribe全能双光子微纳加工系统Quantum X shape

纳糯三维科技

2021/09/18 10:18

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Quantum X shape
Reshaping precision,output,usability


Quantum X shape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系统,用于快速原型制作和晶圆级批量生产,以充分挖掘3D微纳加工在科研和工业生产领域的潜力。作为2019年推出的第一台双光子灰度光刻 (2GL ®) 系统Quantum X的同系列产品,Quantum X shape提升了3D微纳加工能力,即完美平衡精度和速度以实现高精度增材制造,以达到最高水平的生产力和打印质量。


作为一款真正意义上的全能机型,该系统是基于双光子聚合技术(2PP)的专业激光直写系统,可为亚微米精度的2.5D和3D物体的微纳加工提供极高的设计自由度。Quantum X shape可实现在6英寸的晶圆片上进行高精度3D微纳加工。这种效率的提升对于晶圆级批量生产尤其重要,这对于科研和工业生产领域应用有着重大意义。总而言之,该系统拓宽了3D微纳加工在多个科研领域和工业行业应用的更多可能性(如生命科学、材料工程、微流体、微纳光学、微机械和微电子机械系统(MEMS)等)。


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作为Nanoscribe的新型高精度3D打印系统,Quantum X shape可自由设计几乎任何2.5D或3D形状的结构,并提供大尺寸高质量结构制作。




Reshaping precision.

作为已被工业界认可的Quantum X平台的二代加工系统,Quantum X shape在3D微纳加工领域无与伦比的精度,比肩于Nanoscribe公司在表面结构应用上突破性的双光子灰度光刻(2GL ®)。全新的Quantum X shape的高精度有赖于其最高能力的体素调制比和超精细处理网格,从而实现亚体素的尺寸控制。此外,受益于双光子灰度光刻对体素的微调,该系统在表面微结构的制作上可达到超光滑,同时保持高精度的形状控制。

双光子聚合(2PP)是一种可实现最高精度和完全设计自由度的增材制造方法。而作为同类最佳的3D微加工系统Quantum X shape具有下列优异性能:


  • 在所有空间方向上低至 100 纳米的特征尺寸控制,适用于纳米和微米级打印

  • 制作高达 50 毫米的目标结构,适用于中尺度打印

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左图:机械器件的快速高精度小批量生产。200个结构的通宵产量

右图:使用Nanoscribe微纳加工技术制作的3D微针,轻松实现具有高纵横比,形状精度和锋利边缘的不同设计变化


Reshaping output.

高速3D微纳加工系统Quantum X shape可实现一流形状精度和高精度制作。这种高质量的打印效果及产量是结合了最先进的振镜系统和智能电子系统控制单元的结果,同时还离不开工业级飞秒脉冲激光器以及平稳坚固的花岗岩操作平台。Quantum X  shape具有先进的激光焦点轨迹控制,可操控振镜加速和减速至最佳扫描速度,并以 1 MHz 调制速率动态调整激光功率。


Quantum X shape 带有独特的自动界面查找功能,可以以低至 30 纳米的精度检测基板表面。这种在最高扫描速度下的纳米级精度体现,再加上自校准程序,可在最短的时间内实现可靠和准确的打印,为 3D 微纳加工树立了新标杆。这些优异的性能使Quantum X shape 成为快速原型制作和应用于微纳光学、微流体、材料表面工程、MEMS 等其他领域中晶圆级规模生产的理想工具。


Reshaping usability.

通过系统集成触控屏控制打印文件来大大提高实用性。通过系统自带的nanoConnectX软件来进行打印文件的远程监控及多用户的使用配置,实现推动工业标准化及基于晶圆批量效率生产。

Quantum X shape作为具备光敏树脂自动滴配功能的直立式打印系统,非常适合标准6英寸晶圆片工业批量加工制造。用户还可以通过设备的集成触控屏直接或远程访问Quantum X shape打印系统来控制打印作业。通过远程访问软件nanoConnectX ,用户可以看到触控屏的显示选项并操控所有功能,实现从任何地方启动、监控和控制连接打印系统的打印作业进程。这使得整个小组成员(例如研究小组或部门所有成员)均可在个人电脑访问打印系统。实现了最低限度减少实验室准备时间,简化并提高整个制备、执行和监控打印作业效率,并在共享系统时大大提升团队协作。


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nanoConnectX远程访问软件实现任意电脑连接到Quantum X shape系统进行远程执行,检查和控制整个打印作业。


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