简介
1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉,多通道高精度质量流量计混气系统,高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务体系,使得该产品的整体评价远超同行业标准。
主要技术参数
炉体结构 | 整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好 双层壳体结构,内置风冷层,有效降低外壳表面温度 炉盖可开启,可以实时观察加热的物料 |
电源 | 电压:AC220V 50/60Hz;功率:8kW |
炉管 | 高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小; 尺寸:Φ60/80/100*1200mm |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合 |
加热系统 | 加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用; 加热区长度:350mm*2; 恒温区长度:450mm; 工作温度:≤1150℃; 最高温度:1200℃; 升温速率:推荐≤10℃/min; 最快升温速度30℃/min. |
温控系统 | 日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段; 测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃ |
混气系统 | 三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5% 法兰上预留一路浮子流量计,流量规格0.3-3L/min |
真空系统 | 采用双极旋片真空泵+分子泵,极限真空可达4.0*10-4Pa 复合真空计显示,配置电阻规+电离规 抽速:110L/s,风冷式散热结构 配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀 |
可选配件 | 冷水机,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件等 |
保修期 | 整机一年保修(相关耗材除外) |
可根据客户要求定制!
特色与优势
1.加长双温区炉体,大大加长了实验区域的温度均匀性;
2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度;
3.日本富士温控仪表,64段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;
4.双极旋片真空泵+分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa;
5.配置一路浮子流量计及三路高精度质量流量计混气系统,可满足不同气氛下的实验要求;
6.内置S型热电偶,可快速、实时监测反应物料的温度变化情况;
7.尾气活性炭过滤处理,减少反应气体排放对实验室环境的影响。
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企业名称
上海煜志科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310114003098107
成立日期
2016-06-03
注册资本
600
经营范围
从事纳米新材料技术、储热系统设备技术、工业自动化技术领域内技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,机电设备、环保设备、实验电炉、工业电炉、粉碎机、研磨机、硬度计、仪器仪表、电子产品、实验室设备、计算机、软件及辅助设备、工业自动化设备、矿产品、陶瓷、特种玻璃的销售,储热系统设备的安装(除特种设备),从事货物及技术进出口的业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
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