简介
1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
主要技术参数
炉体结构 | 整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构; 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好; 炉子底部装有一对滑轨,移动平稳; 炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却; 支撑两端安装油压缓冲器; 炉盖可开启,可以实时观察加热的物料 |
尺寸重量 | 1240*600*1340mm;170kg |
电源 | 电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW |
炉管 | 高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小; 尺寸:Φ60/80/100*1200mm |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空; 一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷; 可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑; 包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合。 |
加热系统 | 加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用; 加热区长度:300mm;恒温区长度:150mm; 工作温度:≤1150℃; 最高温度:1200℃; 升温速率:推荐≤10℃/min,最快升温速度30℃/min |
温控系统 | 日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段; 测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃ |
混气系统 | 三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5% |
真空系统 | 采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa |
可选配件 | 高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件 |
保修期 | 整机一年保修(相关耗材除外) |
可根据客户要求定制!
特色与优势
1.滑动式炉体结构实现快速升降温;
2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度;
3.日本富士温控仪表,64段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;
4.双极旋片真空泵+分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa。
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企业名称
上海煜志科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310114003098107
成立日期
2016-06-03
注册资本
600
经营范围
从事纳米新材料技术、储热系统设备技术、工业自动化技术领域内技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,机电设备、环保设备、实验电炉、工业电炉、粉碎机、研磨机、硬度计、仪器仪表、电子产品、实验室设备、计算机、软件及辅助设备、工业自动化设备、矿产品、陶瓷、特种玻璃的销售,储热系统设备的安装(除特种设备),从事货物及技术进出口的业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
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