高通量扫描电镜系统（High Throughput SEM）

高通量扫描电镜系统（High Throughput SEM），

NavigatorTM系列是高通量电镜技术在材料表面分析、神经生物学领域的一项全新的应用。与传统SEM不同的是，NavigatorTM针对大面积SEM分析的特定应用而全新设计的高通量电子光学成像系统，重点优化低落点能量下BSE的成像速率，同时保证SE的接收效率为95%以上，使SE和BSE的成像速率达到传统SEM的10倍左右，搭配聚焦跟踪系统和光学导航等辅助模块，综合成像速率是传 统SEM的30倍以上。以半导体晶圆分析为例，以4nm像素大小扫描300umX300um区域内的晶圆刻线，传统电镜需要至少38分钟完成相同工作，而高通 量仅需0.9分钟即可完成自动图像采集，并生成Google Map式全景样品地图。您仅需推动鼠标滚轮，一切信息便展现在屏幕上，并可以对感兴趣的 位置进行标注。您也可以使用手动模式，实时地快速翻看样品免去不必要的光学参数调整。业界首创的索引式查看功能使用户无需再繁琐地操作电 镜而可以专注于搜寻样品本身的信息。

该系统在设计中具备如下特点：

1. 国际首创并拥有自主知识产权的高效电子收集和成像系统，采用同轴电子直接探测技术和高速FPGA采集模块，使该系统在世界上首次实现低加速电压（1kV）下100M/s级二次电子（Secondary Electron）和背散射电子（Backscatter Electron）的超高速同步成像！该系统具备非比寻常的视频级（120fps@512X512）纳米尺度分析能力，使扫描电镜从传统意义的纳米“照相机”变成纳米“摄像机”。

2. 针对于低加速电压、大视野下分辨率而专门设计的电子光学镜筒光路，采用浸没摇摆电磁复合透镜设计，使其在1kV加速电压下即可获得1.8nm、3kV下可获得1.5nm的高分辨率能力，且具备高分辨率视场的区域较传统扫描电镜大4倍以上，而且保持高线性度（1‰的计量级）。

3. 该系统高度的智能化结合超高速成像能力（4TB/天），使之具备了跨尺度信息融合能力。它可以全自动的超大区域（100mmX100mm）全息地图集式成像模式，可以在同时保持高分辨率情况下对样品进行全自动的无遗漏信息采集，并绘制成Google地图式全景信息浏览。结合人工智能（A.I.）算法，可以对工程级材料进行整体纳米晶粒分布统计、各类缺陷的标记与归类、成分分布等电镜微区分析。并且标配的真空预抽室和伸缩臂机构，使之具备真正意义上的“一键全自动换样”。

4. 完备的二次开发接口，为全方位地满足客户定制需求，提高扫描电镜的图像采集效率，发挥电镜高通量性能，领航者（Navigator100）高通量电镜供完备的二次开发接口，以供客户定制个性化的图像采集流程。

        除了生物领域，领航者（Navigator100）系列的在材料科学、工业应用等方面也有广泛的应用价值。得益于其硬件系统高通量的设计和软件系统阵列式扫描支持，领航者（Navigator100）特别适用于对样品进行大面积地图集式图像采集，采集的结果是一个类似Google地图的数T大小的图像数据包。