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英铂携MPI助力重庆高新院搭建半自动高低温电学测试系统
产品介绍：
MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境
产品概要：
1、ShielDEnvironment
MPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境
2、自动化晶圆装载系统
该功能提供了非常方便的晶圆装载，并且易于针对自动程序进行预对准，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆，针对高低温环境下可提高测试效率
3、ERS独特的 AC3冷却技术
MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment，可大幅减少30%至50%的空气消耗
4、侧视影像系统(VCE)
借助MPI8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触，使用DC或RF等探针卡非常安全
技术优势：
1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
2、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
3、失效分析 - 探针卡 / 节间探测
4、可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试
5、高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A
6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
7、支持飞安级低漏电值量测
8、支持温度范围 -60 °C 至 300 °C
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