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核心参数
产品类别： RF探针台
操作类型： 全自动
可测圆片尺寸： 8"晶圆
产品概要：
MPI的200毫米/8寸全自动探针台系统系列是专门为解决射频(RF)和大功率晶圆测试而开发的，该系统旨在保证生产可靠性，并与所有MPI系统附件兼容。
基本信息：
薄晶圆处理
TS2500 RF卡盘独特的设计可以安全地处理厚度为50微米的晶圆，从而能够测试具有挑战性的III-Vs化合物薄片。射频卡盘包括两个完全由特殊陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的射频校准。辅助卡盘也可以用来固定探针清洁材料。
自动化装卸系统
自动化包括双末端执行器和双晶圆盒，适用于150或200mm晶圆，可提供高效率的晶圆交换并提高测试速度。TS2500的速度可以达到10 Die /s(取决于最终系统配置)，使其成为在高功率，分立RF器件以及集成电路(IC)上进行生产电气测试的理想选择。
自动校准系统
TS2500具有先进的对准功能，例如离轴和安装在卡盘上的上视摄像头，使TS2500成为在复杂的RF和高功率测量配置中进行测试的理想平台。
超大功率探头
MPI高功率探测解决方案包括专用的大电流探头，该探头使用MPI适当的多触点尖端来降低接触电阻。MPI的高压探头能够在高达3 kV三轴或5 kV和10 kV同轴设置的高压测试期间进行低泄漏电流测量。 此外，MPI超高功率探头为高达10kV / 600A的超高功率设备的晶片测量提供了解决方案。
完整的测试解决方案
TS2500可以配置MPI的高性能RF探针 /高功率附件，例如MicroPositioners，RF线缆，校准片，TITAN™RF 探针，大功率仪器连接套件，Taiko晶圆支架或防电弧LiquidTray™，以确保安全和准确射频/大功率测量。随着VNA与DUT的集成更紧密，与Rohde&Schwarz合作新的先进校准技术，使TS2500-RF成为了解决RF生产测试复杂性的完整测量解决方案。
技术优势：
1、射频量测 - 至高 67 GHz
2、可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测
3、标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
4、可支持配至薄50um薄晶圆选项
5、可支持温度区间：20℃到300℃
应用方向：
适用于多种量产型晶圆级射频量测应用。
MPI探针台TS2500的工作原理介绍
探针台TS2500的使用方法?
MPITS2500多少钱一台?
探针台TS2500可以检测什么？
探针台TS2500使用的注意事项？
MPITS2500的说明书有吗？
MPI探针台TS2500的操作规程有吗？
MPI探针台TS2500报价含票含运吗？
MPITS2500有现货吗？
企业名称
英铂科学仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91310117MA1J1CKYXG
成立日期
2016-06-07
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
一般项目:仪器仪表、机电设备、机械设备、五金交电、电气设备、电子产品、计算机软硬件及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、日用百货、劳防用品、橡塑制品、办公用品、办公设备、家用电器批发零售,商务信息咨询,仪器仪表、机械设备、机电设备安装维修服务,电子商务(不得从事增值电信、金融业务),半导体科技、新材料科技、化学技术、机电技术、医疗技术、生物技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,货物或技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外),电子元器件及组件、机械设备、机电设备加工。(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
英铂科学仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层
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