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英铂科学助力中科院微电子所搭建SiC器件高温600℃电学测试
产品介绍：
YB-150W手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。
技术优势：
1、单机多应用设计
• 适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性
2、具备工效学设计
• XY 轴微调设计/Y 轴快速导入导出/载物台设计
• 坚固且可乘载多达 6 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台
3、弹性选配与升级性
• 另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW，超高温载物台升级，微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载，以完全支援您的应用需求
4、高压人机安全防护设计
• Platen 底部特征聚合物高压防护设计
• Chuck 独特安全隔离防护设计
•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆（标准 SHV Coaxial 接口）通用
keithley&keysight 高压仪表
• 红外感测 interlock 安全互锁机制
应用方向：
该系统主要应用于集成电路失效分析、晶圆可靠性认证、元器件特性量测、塑性过程测试(材料特性分析)、IC封装阶段打线品质测试、液晶面板的特性测试等领域。
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公司名称： 英铂科学仪器（上海）有限公司
公司地址： 上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层 联系人： Cherry Li 邮编： 201600 联系电话： 400-860-5168转4178
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