NanoMax™ 6轴挠性位移台，纳米定位

特性

• X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)

• θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)

• 公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰

• 平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性

• 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准

• 压电选项提供最高1 nm的分辨率

• 高刚度挠性设计：

• X轴和Z轴：1 N/µm 

• Y轴：0.5 N/µm

• 共振频率高：>130 Hz(±10%)

• 一体式单移动平台设计

• 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低

• 模块化设计，便于交换驱动器

• 维护成本低，降低总持有成本

Thorlabs的NanoMax™ 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，最大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。

平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有更好的性能。更多信息，请看设计特性标签。 

我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专利设计，以尽量减少系统中不必要的运动。

NanoMax 6轴位移台，带差分调节器

• 预配置DRV3差分测微头，用于手动调节

• 提供内部带闭环或开环的压电元件，或没有压电元件的版本

• 选用的压电驱动器行程为30 µm

• 模块化设计便于拆卸和更换驱动器

• 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低

Thorlabs带差分调节器的NanoMax 6轴位移台在X轴、Y轴和Z轴的粗调行程为4 mm(0.16英寸)，精调行程为300 µm。同时它们的θx、θy和θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad) ，精调行程为18 arcmin(5.2 mrad)。粗调调节器的游标刻度为10 µm，分辨率为5 µm。精调调节器的游标刻度为1 µm，分辨率为0.5 µm。这样的分辨率和行程范围使位移台非常适用于优化光纤对准和波导定位系统的耦合效率。这样的刻度还可以作为明确参考点，用于系统内的绝对定位。请注意，对于X轴和Y轴，测微仪每平移1 mm，位移台将平移1.5 mm。更多信息，请查看手册的第10页。附带驱动器的模块化设计便于拆卸和更换；更多详情以及我们所有兼容的驱动器信息，请查看驱动标签。

除了以上特性，MAX602D(/M)和MAX603D(/M) NanoMax位移台分别整合了开环和闭环压电驱动器，行程为30 µm。开环设计内部没有应变式传感器。压电驱动器X轴、Y轴和Z轴的理论分辨率为1.0 nm，θx，θy和θz旋转轴的理论分辨率为0.018 µrad。使用闭环系统时会产生反馈回路，适用于补偿所有压电元件固有的滞后、蠕变和温度漂移。这些压电位移台包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，则为6根PAA622反馈变换器电缆。