NanoMax™ 6轴挠性位移台，纳米定位

特性

• X轴、Y轴和Z轴行程为4 mm(0.16英寸)

• θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程为6°(105 mrad)

• 公共支点，实现所有旋转自由度，简化对准，减少串扰

• 平行挠性设计，确保平滑连续的运动和长期的稳定性

• 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准

• 压电选项提供最高1 nm的分辨率

• 高刚度挠性设计：

• X轴和Z轴：1 N/µm 

• Y轴：0.5 N/µm

• 共振频率高：>130 Hz(±10%)

• 一体式单移动平台设计

• 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低

• 模块化设计，便于交换驱动器

• 维护成本低，降低总持有成本

Thorlabs的NanoMax™ 6轴纳米定位挠性位移台非常适合光纤耦合系统，或需要亚微米分辨率的应用。每个装置在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，在θx、θy和θz的行程为6°(105 mrad)，最大负载能力为1 kg(2.2 lbs)。我们提供带或不带预配置压电驱动器、差分或步进电机驱动器的版本。位移台的标称载物台高度为112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度为112.5 mm的5轴位移台套件。我们也提供转接板，用于将3轴和4轴挠性位移台的载物台高度从62.5 mm提升到112.5 mm，从而兼容我们的6轴位移台。

平行的挠性设计确保精确平滑的连续运动，摩擦几乎可以忽略。对于复杂的多轴定位应用，平行挠性位移台将三个以上自由度集成在单个小型装置中，明显比按序堆叠位移台的设计具有更好的性能。更多信息，请看设计特性标签。 

我们的6轴NanoMax位移台作为功能强大的纳米定位工具还有2个创新点：一是公共旋转支点，二是将所有调节器直接耦合到底座的专利设计，以尽量减少系统中不必要的运动。

NanoMax 6轴位移台，带步进电机驱动器

• 预配置DRV208步进电机驱动器，用于自动对准

• 提供内部带闭环或开环的压电元件，或没有压电元件的版本

• 选用的压电驱动器行程为30 µm

• 模块化设计便于拆卸和更换驱动器

• 所有调节器都耦合到底座，将串扰降到最低

Thorlabs带步进电机驱动器的NanoMax 6轴位移台在X轴、Y轴和Z轴的行程为4 mm(0.16英寸)，θx、θy和θz(摆动、俯仰和偏转)的行程为6°(105 mrad)。驱动器的双向重复性为5.0 µm。霍尔效应限位开关提供高重复性，非常适用于电机归位。这一点对于依赖高重复性零点的自动对焦应用很关键。这些位移台重复性高，步进尺寸小，非常适合高精度自动光纤耦合系统或常规应用。附带驱动器的模块化设计便于随时更换；更多详情以及我们所有兼容的驱动器信息，请看驱动标签。每个位移台还包含六根PAA613 3 m延长电线，用于步进电机驱动器。

除了以上特性，MAX682(/M)和MAX683(/M) NanoMax位移台分别整合了开环和闭环压电驱动器，行程为30 µm。开环设计内部没有应变式传感器。压电驱动器X轴、Y轴和Z轴的理论分辨率为1.0 nm，θx、θy和θz旋转轴的理论分辨率为0.018 µrad。使用闭环系统时会产生反馈回路，适用于补偿所有压电元件固有的滞后、蠕变和温度漂移。这些压电位移台还包含6根PAA100驱动电缆，在闭环系统的情况下，则为6根PAA622反馈变换器电缆。