2021/06/11 14:38
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产品配置单:
达因特:大气等离子体处理机 SPA5800
型号: SPA-5800
产地: 广东
品牌: 达因特
¥5万 - 10万
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方案详情:
达因特等离子解决方案:
考虑因素一:在真等离子除胶蚀刻中,温度对蚀刻考虑因素一:在真等离子除胶蚀刻中,温度对蚀刻效率,起到非常关键的作用,所以腔体内材料要耐高温。考虑因素二:不同厂家的Mini LED,因为工艺不同,耐高温程度不一样,所以腔体可应用通水冷,循环水达到控温的功能。考虑因素三:在真空等离子除胶蚀刻的过程中,用到的工艺气体,有氧气、氮气、少量的四氟化碳,其中氧气,四氟化碳的化学性质,具有氧化性和腐蚀性,所以腔体材料也要耐氧化,耐腐蚀。考虑因素四:Mini LED属于非常精密的产品,所以对处理效果的均匀性要求也是非常高,通过多方面的测试验证,结合以往实践经验,设计出一款针对除胶行业,放电均匀性非常高的真空等离子设备。
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