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核心参数
仪器种类： 国产等离子体表面处理仪
射频频率： 13.56MHz
功率： 0-600W（功率可调节）
样品腔容积： 490*320*75mm
设备尺寸： 1740*1180*1818mm
样品腔材质： 铝合金
工作气体： 两路气体
控制方式： PC控制
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在线片式真空等离子清洗机产品原理：
片式真空等离子清洗机（Plasma cleaner），气体通过密封容器中设置两个正负电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，等离子体轰击产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。
专为半导体行业设计的在线真空等离子清洗机。针对封装工艺中的引线框架上点胶装片、芯片键合、除胶及塑封等工艺前清洗，大大提高粘接及键合强度等性能的同时，避免人为因素长时间接触引线框架而导致的二次污染以及腔体式批量清洗时间长有可能造成的芯片损伤。
用户单位
采购时间
采购数量
北方华创
2023/07/22
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